他把面前那份資料往前推了推,那些紅色標記在燈光下格外刺眼,他朝王金龍和林景義的方向微微鞠了一躬,說話的速度不快,每句話之間留出足夠的間隔讓翻譯跟上。
“岡部先生想請教三個問題。”翻譯的聲音很清晰,但語氣裡也帶上了一絲謹慎。
“第一個問題,關於技術積累。JSR和TOK為適配不同光刻機機型和製程節點,儲備了上千套定製配方。一套成熟的浸沒式ArF配方,迭代週期超過十五年。貴公司的團隊成立到現在只有幾年時間,配方庫目前大概只有幾十套。怎麼匹配不同光刻機光源之間的差異?塗布和顯影寬容度的問題,怎麼解決?”
會議室裡的空氣變了。
岡部問的不是“配方有多少”,而是“幾十套和上千套之間的差距意味著什麼”
光刻膠不是做出來一種就能通吃所有客戶的東西,每一臺光刻機的光源特性都略有不同,每一種製程節點的工藝視窗都不一樣,必須針對性地調整配方。日本的配方優勢是靠幾十年時間積累出來的,這個問題直指東大光電最核心的短板。
林景義站起來,走到旁邊的白板前面,拿起記號筆。
他先承認了差距。“JSR的上千套配方,是幾十年來為不同客戶逐一適配積累下來的。我們的配方庫確實遠沒有達到那個量級,這是客觀差距。”
“但JSR的上千套配方里,大部分是成熟製程上用了很多年的老配方,真正針對先進製程在持續迭代的核心配方並沒有那麼多。我們目前聚焦的是先突破90到130奈米這個區間,這個區間能覆蓋國內晶圓廠大部分成熟製程的需求。把有限的研發資源集中在最關鍵的技術節點上,比分散精力去追幾百套暫時用不上的配方更有意義。”
他用記號筆在身後的白板上畫了一條橫線,標註了“90-130n這個區間。
“關於塗布和顯影寬容度。”他轉過身,語氣比剛才更具體了一些,“從去年到現在,光刻膠調配區那塊白板上的工藝引數每天都在更新——溫度、壓力、攪拌轉速、各組分比例,每一項都精確到小數點後兩位。配方不是坐在辦公室裡推演出來的,是一批一批試出來的。”
岡部沒有在這個問題上繼續糾纏,直接切入了第二個問題。
“第二個問題,關於供應鏈依賴。光刻膠金屬雜質要求控制在十億分之一級別。日本企業擁有從單體、樹脂到成品的全鏈條提純產線,從化工原料到成品全程密閉潔淨合成。貴公司核心感光樹脂和光引發劑全部外購進口。外購原料的批次穩定性怎麼保證?實驗室小批次提純相對容易,一旦放大到百升級量產,顆粒缺陷和金屬離子超標幾乎是必然的。”
會議室裡開始有人交頭接耳,前排一個公募分析師偏過頭跟旁邊的人低聲說了句什麼——林深隱約聽到了“太針對了”三個字。後排幾個私募的人也在小聲交流,有個研究員把筆放下了,抱著胳膊靠在椅背上,表情像是在看一場事先張揚的角鬥。
岡部的問題越來越具體了,從配方設計問到供應鏈質量保障,從實驗室可行性問到量產穩定性,每一問都踩在東大光電最脆弱的位置。而且他的語氣變了。前面幾個問題還是“請教”的姿態,現在已經是“揭露”的姿態。林深覺得岡部今天不是來調研的,更像是是來做空頭盡調的。
林景義把白板上的字擦掉,重新拿起記號筆。
“從實驗室小樣到百升級量產,確實不是簡單的等比例放大。反應條件、傳熱效率、攪拌方式都不一樣。我們目前在中試裝置上已經跑了半年多,每一批次的雜質資料都記錄在案,包括金屬離子含量、顆粒數、批次間一致性。這些資料就是用來指導產線放大工藝的。”
他的語速比回答第一個問題時慢了一些,
“關於外購原料的批次波動,這個風險確實存在。我們的應對措施是三道防線:入庫前全檢、調配環節增加線上純化步驟、以及長期推進自研光敏劑和樹脂單體。”
他說完這三道防線之後,朝岡部的方向微微點頭,示意第二個問題回答完了。
岡部沒有停頓,直接切入了第三個問題。語氣比前兩個問題更篤定,每個字都像是事先準備好了的。他微微抬起下巴,目光直直地越過翻譯,落在林景義和王金龍之間。
“第三個問題,關於產業生態。日本擁有完整的光刻膠產業鏈配套——從高純單體、光酸到特種溶劑、新增劑,上下游全部自主配套。國內所有高階配套原料都依賴進口。上游隨時可能被卡脖子。就算貴公司的光刻膠合成突破了,沒有完整的產業生態,最終能走多遠?”
他停了一下,然後繼續。這一次他的聲音裡多了一層幾乎不加掩飾的質疑。
“再加上裝置與材料協同研發的缺失。中國沒有本土高階DUV光刻機廠商,光刻膠配方無法跟光刻機同步最佳化,產品效能只能永遠跟在後面追。這個代差怎麼彌補?”
他說完之後,會議室陷入了短暫的沉默。翻譯把最後一個句子翻成中文的時候,聲音也比之前輕了幾分。
然後交頭接耳的聲音從後排蔓延到中排,南方資本的陳紹軍把筆放下,目光在岡部和林景義之間來回掃了兩遍。有人低聲說“這已經不是調研了”。旁邊的人回了一句“人家本來就不看好”。一個私募基金經理側過頭跟旁邊的同事交換了一個眼神,那個眼神的意思很清楚——今天這場座談會,火藥味比預想的濃得多。
林深在筆記本記了下來:岡部三連問,從技術追到供應鏈再追到產業生態,每一層都在往上抬。他的目標不是瞭解東大光電,是讓在場所有人都看清東大光電和日本企業的差距到底有多大。
林景義沉默了一會兒,他手裡還拿著那支記號筆,但沒有往白板上寫。會議室裡安靜得能聽見頭頂空調出風口的細微氣流聲。








