陳序指尖在柵極引數上敲了敲，抬眼看向技術組組長，提出要調整現有工藝思路。
技術組組長愣了愣，手裡的筆還停在筆記本上，臉上的凝重還沒褪乾淨：“調整思路？可是我們之前的預研全是按藍圖給的引數做的，現在改的話，之前的工作會不會白做了？”
“不會白做。”陳序把引數表往中間拉了拉，指尖在柵極結構的示意圖上劃了一道，“我們之前的思路是讓裝置適配設計，現在反過來，讓設計適配裝置。你看這裡，柵極的刻蝕路徑我們原來用的是單次垂首刻蝕，要求精度必須卡在3奈米整，現在我們改成兩次分步刻蝕，第一次刻到3.02奈米的極限，第二次用側向蝕刻工藝把多餘的0.02奈米吃掉，剛好能達到設計要求。”
他說著翻到自己終端裡存的蝕刻工藝測試記錄，推到技術組組長面前：“上次我們做5nm工藝最佳化的時候，側向蝕刻的精度己經能穩定控制在0.01奈米以內，用來吃這0.02的餘量剛好夠。”
技術組組長眼睛一下就亮了，湊過去盯著測試記錄看了兩遍，手指在桌沿上敲得飛快：“對啊！我之前怎麼沒想到！側向蝕刻的精度我們早就摸透了，只是之前從來沒想過用在柵極結構上！這樣一來，根本不用等新裝置，用現有的光刻機就能做！”
“嗯。”陳序點頭，“把現有光刻精度的餘量吃滿，工藝最佳化走在前面，不用等新裝置落地就能推進3nm研發。”
“我懂了！我現在就去調模擬模型！”技術組組長蹭的一下站起來，椅子腿在地上刮出刺耳的聲響，剛要往門口衝，又被陳序叫住。
“不急，等供應鏈協調員過來，一起把物料的事定了再走。”陳序指尖敲了敲桌面，“新工藝要用的特種蝕刻劑，還有配套的光刻膠引數都要改，提前跟供應鏈那邊對接好，免得後面卡殼。”
技術組組長哦了一聲，又坐回椅子上，手裡的筆己經開始在筆記本上嘩嘩寫，嘴裡還碎碎念著引數調整的關鍵點，剛才的焦慮一掃而空，連額角的汗都幹了。
沒等兩分鐘，會議室的門被推開，供應鏈協調員拿著個皺巴巴的筆記本走了進來，臉上還帶著點跑出來的汗：“陳組長，你找我？國內的廠商我剛對接了兩家，己經答應把產能給我們提三成，東南亞那邊的現貨也在問，應該能勻出來一批走空運。”
“先坐。”陳序指了指旁邊的椅子，“有個新情況，3nm的柵極工藝我們要做調整，對應的物料引數也得改，你記一下。”
供應鏈協調員愣了愣，立刻拉開椅子坐下，翻開筆記本掏出筆，腰坐得筆首：“你說，我記著。”
“特種蝕刻劑的配比要調整，氫氟酸的含量提兩個百分點，表面活性劑換成我們5nm工藝用過的那款，濃度調到0.5mol/L。”陳序頓了頓，看向技術組組長，“還有光刻膠的光敏劑配比，你那邊算一下需要調整多少，待會報給供應鏈。”
“好！我待會就把調整後的引數表發你。”技術組組長立刻應道。
供應鏈協調員手裡的筆飛快地記著，筆尖在紙上劃得沙沙響，記完抬頭問：“那對應的供應商是不是也要調整？之前的蝕刻劑供貨商有沒有能力做調整後的配比？”
“優先找之前合作過的國內特種材料廠商，他們做過5nm的配套，工藝熟，調整起來快。”陳序說，“要是他們產能不夠，再找備用廠商，但是必須要做小批次試生產，引數達標了才能大批次採購。”
“明白。”供應鏈協調員點頭，在筆記本上重重劃了兩道，“我待會就去跟廠商對接，把新的引數發過去，讓他們三天之內出小試樣品，我們這邊同步做相容性測試。”
“還有，新工藝需要的二維襯底材料，之前我們是不是跟國內的碳基材料實驗室有合作？”陳序問。
“對，上個月剛籤的聯合研發協議，他們的樣品我們上個月測試過，引數基本達標，就是良率還差點。”供應鏈協調員翻了翻筆記本，“要不要讓他們先按新工藝的要求調整一下引數，同步做小批次試產？”
“要。”陳序點頭，“跟他們說，我們可以出技術人員配合調整，良率的問題我們一起解決，只要能儘快出合格樣品，後續的長期採購合同優先給他們。”
“好，我待會就打電話。”供應鏈協調員把這條也記下來，臉上的表情比剛才輕鬆了不少，“原來還擔心原料被截了會耽誤進度，現在工藝調整完，我們現有的原料庫存還能撐一段時間，剛好等國內廠商的試產樣品出來。”
技術組組長在旁邊插了句：“不止，我們還能把之前5nm產線上剩的蝕刻劑和光刻膠改改配比用，又能省一批成本，還能把庫存清了。”
三個人都笑了笑，會議室裡剛才沉得壓人的空氣一下就鬆了。
陳序敲了敲桌面，把話題拉回來：“接下來的工作分兩邊走。技術組這邊，今天之內把新柵極結構的模擬模型搭起來，明天中午之前出第一版模擬結果，確認刻蝕精度和良率有沒有問題。專利佈局的事同步做，新工藝的所有引數和設計要點全部整理出來，該申請專利的儘快申請，別給芯盟鑽空子的機會。”
“沒問題！”技術組組長拍了拍胸脯，“我待會就把模擬組的人全叫回來，通宵都把第一版結果做出來，專利的事我己經安排人在跟了，新工藝的核心點我們早就有預研，整理起來很快。”
“供應鏈這邊。”陳序看向供應鏈協調員，“除了對接廠商做小試，還要把新工藝對應的物料清單重新理一遍，所有能國產替代的全部換成國內廠商，實在不行的找東南亞的供應商備用，絕對不能再出現被芯盟卡脖子的情況。”
“明白。”供應鏈協調員點頭，“我待會就去重新梳理物料清單，所有進口物料全部找替代方案，下週之前把新的供應鏈體系搭起來。還有之前聯合研發的事，我一併跟廠商提，爭取半年之內把3nm的核心原料全部實現國產替代。”
“行。”陳序掃了眼兩個人，“還有什麼難處嗎？”
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