“好。”技術組組長點頭，把這條也記下來。
供應鏈協調員也問：“那廠商那邊的試產樣品，我們要不要派人過去盯著？免得引數弄錯了耽誤時間。”
“要派。”陳序說，“你安排兩個懂材料的工程師過去，全程跟進試產，有難處當場解決，別等樣品寄過來才發現不對。”
“行，我待會就安排。”
事情都敲定，技術組組長和供應鏈協調員都站起身，腳步輕快地往門口走。技術組組長走得急，差點撞到剛要進來的行政專員，連忙道了聲歉，頭也不回地往研發區跑，嘴裡還唸叨著模擬引數的事。
供應鏈協調員走得慢些，走到門口又折回來，問：“陳組長，那之前跟東南亞那邊談的空運原料，還要不要繼續等？”
“要等。”陳序說，“就算我們工藝調整了，多備點原料總沒壞處，後面擴產也用得上。你跟那邊說，只要能按時運到，運費還是雙倍給。”
“好。”供應鏈協調員點頭，轉身帶上門走了。
會議室裡只剩陳序一個人，他靠在椅背上，揉了揉發脹的太陽穴，連續熬了幾天的夜，太陽穴突突地跳。他拿起桌上的礦泉水喝了一口，目光落在螢幕上的3nm柵極結構示意圖上，指尖又輕輕敲了敲桌面。
剛歇了不到很鍾，技術組組長的電話就打了過來，聲音裡帶著點急：“陳組長，模擬模型搭好了，初步跑了一遍，柵極的刻蝕精度確實能到3奈米，可襯底材料的適配性出了點麻煩，引數偏移了0.03個百分點。”
陳序皺了皺眉：“什麼緣故？”
“還不確定，我們正在查。”技術組組長的聲音有點發緊，“初步看是新工藝的蝕刻劑跟我們現在用的襯底材料發生了點反應，導致表面平整度不夠，影響了後續的沉積工藝。”
“我現在過來。”陳序掛了電話，拿起桌上的工作終端就往研發區走。
走廊裡的燈亮得晃眼，迎面走過來的工程師都腳步匆匆，手裡抱著厚厚的檔案，看見陳序都停下來打個招呼，臉上都帶著點躍躍欲試的勁。陳序點頭回應，腳步沒停，很快走到了模擬組的辦公室門口。
技術組組長正湊在電腦前，跟幾個工程師圍著螢幕指指點點，螢幕上的模擬圖裡，柵極結構的邊緣有一小塊不規則的凸起，正是引數偏移的地方。
“陳組長你看。”技術組組長指著螢幕上的凸起，“就是這裡，每次刻蝕完都會出現，我們調了三次蝕刻劑的配比都沒用，還是會有反應。”
陳序湊過去看了兩眼，問：“襯底材料用的是哪一款？”
“就是我們之前5nm工藝用的那款矽基襯底啊。”技術組組長說，“之前用著一首沒問題，誰知道換成兩次刻蝕工藝就出問題了。”
陳序想了想，問：“之前碳基材料實驗室送過來的二維襯底樣品還有嗎？拿過來試試。”
技術組組長愣了愣，當即反應過來：“對哦！我們之前測過那款襯底的耐腐蝕性比矽基的好很多！我這就去拿！”
他轉身就往樣品室跑，沒兩分鐘就抱著個密封盒回來，小心翼翼地拿出一片樣品遞給模擬組的工程師：“快，把襯底引數換成這個試試。”
工程師立刻調整引數，重新跑了一遍模擬。
所有人都盯著螢幕，進度條一點點往前走，辦公室裡靜得只剩電腦風扇的嗡嗡聲。
進度條走到頭，模擬圖跳出來。
柵極結構的邊緣光滑平整，沒有任何凸起，引數剛好卡在3奈米整，良率顯示89%。
辦公室裡瞬間爆發出一陣歡呼，幾個工程師激動得互相拍肩膀，技術組組長長長舒了口氣，臉上的笑止都止不住：“太好了！真的可行！”
陳序也鬆了口氣，剛要說話，口袋裡的手機響了，是供應鏈協調員打過來的，聲音裡帶著點慌：“陳組長，不好了，國內特種材料廠商那邊剛送過來的小試蝕刻劑樣品，我們做相容性測試的時候，跟二維襯底的適配性有問題，引數偏移了0.04個百分點，查不出由頭！”
陳序臉上的笑意一下收了起來。
。響的嗡嗡，來進傳璃玻著隔聲擎引，過地輛一接輛一在還車運貨的區園遠，了黑全完經己天的外窗
