陳序掛了電話，掃了眼辦公室裡還在歡呼的工程師，抬手壓了壓：“你們先把模擬資料存好，我去樣品室看看測試情況。”
技術組組長愣了愣，跟著就站起身：“我跟你一起去？剛才模擬用的二維襯底就是王教授他們團隊送過來的，說不定他也在那邊盯著測試呢。”
“行。”陳序抓起桌上的工作終端，轉身往門口走。
走廊裡的燈還亮著，夜裡的研發區沒了白天的喧鬧，只有偶爾傳來的裝置運轉聲。陳序走得快，鞋底踩在光潔的地磚上發出輕響，技術組組長跟在他旁邊，嘴裡還唸叨著剛才模擬的引數，時不時低頭在筆記本上劃兩筆。
拐過兩個轉角就到了滬矽產業園區研發區樣品室，門虛掩著，裡面亮著冷白色的燈，還能聽見有人小聲說話的動靜。陳序推開門進去，就看見供應鏈協調員蹲在測試臺邊，面前擺著一排密封的試劑瓶，旁邊站著個穿白大褂的老頭，頭髮白了一半，正是王傳明。
“陳組長，你可來了。”供應鏈協調員聽見動靜抬頭，看見是他，立刻站起身，手裡還捏著張測試報告單，“你看這資料，換了三批樣品測都是偏移0.04個百分點，蝕刻劑的配比我們跟廠商核對了三遍，跟你給的引數完全對得上，就是不知道問題出在哪。”
王傳明也轉過頭，推了推鼻樑上的老花鏡，手裡還拿著個放大鏡，正對著一片襯底樣品看：“我剛才也在跟小周看這個，襯底的表面平整度沒問題，就是蝕刻劑一上去，邊緣就會出現細微的腐蝕不均勻，應該是分子鍵結合的時候出了問題。”
陳序走過去，先接過供應鏈協調員手裡的測試報告單，掃了眼上面的引數曲線，又低頭看了看測試臺上擺著的幾瓶蝕刻劑樣品，瓶身上貼著廠商的標籤，批號都是最新的。他指尖在報告單上偏移的那一段點了點，問王傳明：“襯底的摻雜比例是多少？跟我們之前送過去的小試配方是不是一致？”
“配方是按之前敲定的來的，硼元素摻雜比例0.03%，磷元素0.02%。”王傳明放下放大鏡，從旁邊的資料夾裡抽出一張配方表遞過來，“我們上個月小試的時候引數還全對，這次廠商批次送過來的襯底，我剛才測了下摻雜比例，比配方上多了0.005個百分點的硼。”
供應鏈協調員啊了一聲，趕緊湊過來看配方表：“不對啊，我跟廠商對接的時候反覆說了要嚴格按比例來，怎麼會多了？”
“正常，批次生產的時候，摻雜爐的溫區控制有點偏差就會出這種問題。”王傳明擺了擺手，“我們之前做5nm襯底的時候也遇到過，當時調整了下退火溫度就解決了，可這次是二維襯底，晶格結構跟矽基的不一樣，多出來的這點硼剛好讓襯底表面的晶格缺陷多了幾個百分點，蝕刻劑上去就會順著缺陷腐蝕，導致引數偏移。”
陳序接過配方表，跟工作終端裡存的測試資料比對了下，一如所料發現襯底的晶格缺陷率比之前小試的時候高了0.03個百分點，剛好跟引數偏移的數值對得上。他指尖敲了敲測試臺，抬頭問王傳明：“如果把摻雜比例調回標準值，再把退火溫度提高5攝氏度，能不能把晶格缺陷率壓下來？”
“理論上可以，不過得重新做小試。”王傳明點點頭，“我們實驗室現在就有裝置，要是現在開始調引數，天亮前就能出第一批樣品。”
“那就調。”陳序立刻說，“蝕刻劑的配比不用改，就按現在的來，剛好能測試調整後的襯底適配性。”
“行，我現在就回去安排。”王傳明說著就把桌上的配方表夾迴文件夾，轉身就要往外走，走了兩步又停住，回頭看了眼測試臺上的襯底樣品，“對了，上次你說的高k介質材料，我們團隊也調得差不多了，等襯底的引數定下來，剛好能一起做適配測試。”
陳序眼睛亮了亮：“這麼快？之前不是說良率還差點嗎？”
“熬了三個通宵，把沉積工藝改了改，良率己經提到88%了，夠小試用了。”王傳明笑了笑，眼角的皺紋擠在一起，“要是這次適配沒麻煩，3nm的核心材料就差不多全定了。”
技術組組長在旁邊聽得眼睛發亮，趕緊掏出筆記本記下來：“那我這邊也同步調整新版柵極結構的模擬引數，把高k介質的適配加進去，等材料小試出來，模擬結果也能出來，剛好對上。”
“嗯，你們兩邊同步推進。”陳序點頭，又看向供應鏈協調員，“你那邊跟廠商說一聲，先暫停現有批次的襯底生產，等我們這邊小試引數定了，再按新的摻雜比例和退火工藝生產，第一批先做五百片樣品，引數達標了再擴產。”
“明白，我現在就給廠商打電話。”供應鏈協調員當即掏出手機，走到樣品室門口去打電話，聲音壓得很低，時不時點頭應兩句。
王傳明拿著資料夾走了，技術組組長也急匆匆地回模擬組調引數，樣品室裡只剩陳序和還在打電話的供應鏈協調員。陳序拉過旁邊的椅子坐下，翻出工作終端裡存的3nm材料引數清單，逐條核對起來。
窗外的天越來越黑，遠處園區的貨運車還在時不時地過，引擎聲隔著玻璃傳進來，嗡嗡的響。陳序盯著螢幕上的引數，指尖輕輕敲著桌面，腦子裡飛快地過著整個材料體系的適配邏輯，時不時在終端上改兩個數字。
過了大概半個小時，供應鏈協調員打完電話走回來，臉上的神色放鬆了不少：“廠商那邊說了，立刻停掉現有生產線，按我們新給的引數調整，明天中午之前就能出第一批調整後的襯底樣品。”
陳序嗯了一聲，沒抬頭，還在盯著螢幕看。
供應鏈協調員拉過旁邊的椅子坐下，喝了口桌上的礦泉水，長出了口氣：“剛才可給我嚇壞了，要是材料適配出問題，整個3nm專案的進度都得拖。還好王教授他們經驗足，一下就找到問題了。”
“王教授在材料領域摸了幾十年，這點問題難不住他。”陳序終於抬起頭，把終端上改好的引數清單發給供應鏈協調員，“你把這個新的引數表發給廠商，讓他們嚴格按這個來，摻雜比例的誤差不能超過0.001個百分點，退火溫度的誤差控制在正負1攝氏度以內。”
“好，我這就發。”供應鏈協調員接過引數表，立刻就往廠商的對接群裡發。
又過了三個多小時，天矇矇亮的時候，王傳明的電話打了過來，響動裡帶著掩不住的興奮：“陳組長，小試成了！調整後的襯底晶格缺陷率壓到了0.01%以下，跟蝕刻劑的適配測試做了五輪，引數一點偏移都沒有，全部達標！”
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