李建國哦了一聲，接過資料夾，邊掏鑰匙開門邊說：“先進來再說，我剛泡的茶，給你倒一杯。”
進了實驗室，空調的冷氣吹過來，陳序才覺得臉上的熱度降了點。
李建國把保溫杯放到辦公桌上，拉過椅子坐下，翻開了資料夾。
第一頁是目錄。
他掃了一眼，眉頭挑了挑。
內容分得很細，從引數調整到誤差分析，再到驗證方案，全是專案組現在最頭疼的問題。
他沒說話，一頁一頁往下翻。
剛開始還靠在椅背上，翻到第三頁就坐首了，手指無意識地敲著桌面。
翻到第十頁的時候，他拿起桌上的筆，在旁邊的草稿紙上算了起來。
筆尖在紙上劃得飛快，一行行公式列出來，又劃掉，再列新的。
陳序站在旁邊，沒出聲。
辦公桌上的鬧鐘滴答滴答走。
過了快二十分鐘，李建國才把筆放下，抬起頭看他。
眼鏡後面的眼睛亮得嚇人。
“這些引數，你自己算的？”
“嗯。”陳序點頭，“之前跟著做實驗，發現之前的氣體配比閾值卡得太死，我算了下，把氬氣佔比往下調三個百分點，加上側壁鈍化的時間提前兩秒，能解決刻蝕不均的問題。”
李建國沒說話，又翻回最後一頁，盯著那行加粗的字看了半天。
工藝良率可提15%。
他深吸了一口氣，拿起保溫杯喝了一大口，燙得嘶了一聲。
“你知道現在行業內14nm刻蝕的平均良率是多少嗎？”
“七十六左右。”陳序說，“臺積電的量產線能到七十八，我們這套方案調完，能摸到他們的門檻。”
李建國笑了，指節敲了敲報告。
“你小子，藏得夠深啊。上次開會我還問有沒有人對氣體配比有新想法，你怎麼不說？”
“當時引數還沒算完，怕不準。”陳序抿了抿嘴，“昨天在圖書館刷了一天題，把剩下的推導補完了，才敢拿過來。”
李建國沒再追問，拿起桌上的座機撥了個號。
電話響了兩聲就通了。
“張弛嗎？帶幾個核心成員到我辦公室來，對，現在。”
掛了電話沒五分鐘，三個穿白大褂的博士生就跑了進來，個個臉上還帶著剛睡醒的懵。
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