蘇大科研院會議室的空調溫度打得很低。
桌面上攤著三份列印好的授權協議,紙頁邊緣還帶著剛印出來的熱度。
陳序坐在李建國旁邊,校服袖口洗得發白的邊蹭過冰涼的會議桌,指尖不自覺蹭了蹭褲腿。
上一章談好的初步意向,今天落到紙面上,每一個字都關係到後續的量產落地。
中芯科的運營總監坐在對面,指尖按在協議利潤分配那一頁,抬眼掃過陳序。
“之前說好的,陳序作為第一發明人,拿技術利潤的百分之十五分成,授權費全部打在蘇大專項研發賬戶,優先用在半導體相關的後續研發,這點沒問題吧。”
李建國點點頭,拿起筆翻到最後一頁。
“我們這邊沒問題,學校早就開過會,所有條款都通過了。”
陳序沒說話,他其實對錢沒什麼概念。之前拿的五千塊科研補貼,除了買習題冊,大部分都存著。他更在意的是手裡的工藝引數,能不能真的走到產線上。
之前在實驗室裡反覆測了幾十次的刻蝕均勻性資料,他閉著眼都能背出來。
中芯科的法務把三份協議逐一核對完,分別推到三個人面前。
“各位再核對一遍,沒問題就簽字,之後我們會把蓋好章的副本送回蘇大存檔。”
筆尖落在紙面上的聲音很輕。
三份協議簽完,中芯科的人立刻收走兩份,剩下一份放在李建國手邊。
運營總監搓了搓手,臉上終於露出點笑模樣。
“接下來就等你們交量產手冊了,我們產線都留著位置呢。”
李建國側頭看了眼陳序,陳序立刻拿起腳邊的黑色檔案袋,推到桌子中間。
檔案袋不厚,封面上用馬克筆寫著14nm刻蝕工藝量產手冊幾個字,是他昨天晚上親手寫的。
裡面的內容他翻了不下十遍。除了實驗室驗證過的基礎引數,還有他之前消耗學識點最佳化的額外良率提升方案,藏在工藝調整的附錄裡。
他沒特意提。等試生產的時候,資料自然會說話。
中芯科的技術負責人立刻伸手拿過檔案袋,當場拆開封口,翻了幾頁,指尖都有點抖。
他之前在實驗室看過驗證資料,知道這套工藝的良率比國外同類型產品高不少,現在拿到完整的量產引數,才發現裡面還有不少細節是之前沒透露的。
“這些引數都經過驗證了?”
“嗯,全部做過重複實驗,誤差範圍在千分之二以內。”陳序答得很乾脆。
技術負責人沒再問,低頭快速翻著手冊,旁邊兩個隨行的技術人員也湊過去看,時不時低聲交流兩句,臉上的表情越來越亮。
運營總監看著手下人的反應,心裡大概有了數,敲了敲桌面。
“都別在這看了,回去有的是時間研究。我現在宣佈,回去之後立刻調整三號產線的引數,一週內啟動小規模試生產。”
他頓了頓,看向李建國和陳序,語氣很鄭重。
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