陳序聽到車間負責人的話，沒多猶豫，首接點了頭。
旁邊的老周反應更快，掏出對講機就喊總負責人。
不到十分鐘，整個專案組的核心成員都聚到了光刻實驗室門口。總負責人跑得頭髮都亂了，外套搭在胳膊上，看見陳序第一句話就是。
“真沒問題？”
“五次校準誤差都是零，樣片精度全達標。”陳序把手裡的測試報告遞過去。
總負責人翻了三頁，手都在抖。他猛的合上報，揮了下手。
“走，去無塵車間。”
一行人換無塵服的時候，整個基地的廣播都響了。通知所有非核心崗位人員暫時離崗，核心層全部到無塵車間外待命。陳序穿衣服的時候，看見好幾個熬了快一週的研究員，連眼睛都紅了，還在那笑。
進車間前，總負責人拍了拍陳序的肩膀。
“成敗就在這一次了。”
陳序嗯了一聲。搓了搓手。他也有點緊張，手心出了點汗。
攻關基地無塵生產車間裡的燈全亮著，所有裝置都提前通了電，處於待機狀態。之前卡殼的時候，這條線停了快三天，現在每臺機器旁邊都站著專人，看見他們進來，所有人都站首了。
總負責人走到主控臺邊上，拿起話筒。
“我再最後確認一遍，所有引數是不是按陳顧問給的校準邏輯改的？”
“確認完畢！五次預演全部透過！”操作組的組長扯著嗓子喊。
“物料準備？”
“十二寸晶圓、光刻膠、刻蝕氣全部到位，檢驗合格！”供應鏈的人舉了下手。
“應急方案？”
“三套備份預案全部就位，所有值班人員到崗！”安全組的人點頭。
總負責人轉頭看向陳序。
“陳顧問，你來下令吧。”
陳序沒推辭，他走到主控臺前，掃了一眼螢幕上的各項引數。所有數值都綠得發亮，和系統藍圖裡的標準值分毫不差。他深吸了口氣，開口說。
“啟動流片程式。”
操作組組長立刻按下了啟動鍵。
整個車間的裝置依次運轉起來，傳送帶勻速向前，第一片十二寸晶圓被機械臂穩穩托住，送進了光刻模組。陳序戳在透明觀察窗前，盯著裡面的動作。
旁邊沒人說話，只有裝置運轉的低鳴。
光刻、刻蝕、離子注入、薄膜沉積。
每一步流程走下來，都有人報引數。
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