所有人的目光都看向坐在第一排的中芯科總工程師王健。
王健點了點頭，手裡的筆在筆記本上重重劃了一下：“資料是真的，我們產線親自測的。當時調整引數的方案就是陳序給的，我一開始也不信，測了三批晶圓，全是這個數。”
會場裡的質疑聲瞬間消了大半。
陳序繼續往下講，從架構到光刻工藝，從材料配方到量產管控，每一個環節的引數都列得清清楚楚，每一個可能出現的問題都提前給出瞭解決方案。
講了快一個小時，底下沒人再說話。
所有人都盯著投影幕布，手裡的筆不停在筆記本上記，有人額頭都冒出了汗。這些引數和方案，每一個都踩在當前工藝的最優解上，好多他們卡了好幾年的難題，這裡居然都給出了現成的解決辦法。
張教授翻著手裡剛打印出來的資料，手都在抖。他搞了三十年半導體，從來沒見過這麼完整，這麼精準的工藝方案。這哪是什麼預研方案，這是首接能拿到產線上量產的手冊啊。
“所有工藝都能適配我們現有的國產生產線？”張教授的聲音都有點發顫，“不用進口EUV光刻機？”
“不用。”陳序點了點頭，翻到最後一頁，上面是專案的時間節點表，“我們調整了深紫外光刻的多重曝光引數，完全可以實現7nm工藝的刻蝕精度。按照這個進度，最快八個月就能完成首次流片，一年半實現量產。”
“好！好啊！”張教授猛地拍了下桌子，眼眶都紅了，“憋了半輩子，終於等到這一天了！”
會場裡瞬間響起了熱烈的掌聲，有人甚至激動得站了起來。
周振國拿起麥克風，等掌聲平息了才開口，聲音裡壓著興奮：“方案大家都看過了，可行性不用懷疑。接下來我宣佈，國產7nm晶片研發專案，正式啟動。”
又是一陣掌聲，比剛才更響。
“我們要做自己的7nm晶片。”周振國的聲音透過麥克風傳遍整個會場，“不用看別人的臉色，不用被人卡脖子。在座的各位，還有所有參與這個專案的研究員，都是歷史的見證者，也是創造者。”
接下來是任務拆分。
陳序把列印好的7nm晶片研發任務拆分表挨個發到每個人手裡，上面明確了每個小組的研發任務和時間節點。架構組三個月內完成核心設計，工藝組六個月內完成所有引數的產線驗證，材料組同步推進光刻膠和靶材的適配，每個節點的時間都卡得很緊，容錯空間很小。
“時間緊，任務重。”周振國敲了敲桌子，“每個節點都必須按時完成，拖一天，我們的量產時間就晚一天。部裡給的支援很足，資金、裝置、人員，你們要什麼就提，我去協調。但是醜話說在前面，誰要是掉鏈子，耽誤了進度，別怪我不客氣。”
“放心吧老周，我們架構組要是拖了進度，我主動辭職。”張教授第一個表態，臉上滿是笑意。
“我們工藝組也沒問題，之前卡的難點現在都有方案了，六個月絕對搞定。”
“材料組這邊你放心，光刻膠的配方我們己經有思路了，最多西個月就能出適配樣品。”
各個小組的負責人挨個表態，氣氛前所未有的高漲。
陳序坐在旁邊，低頭在筆記本上記著各個小組提的需求，筆尖在紙面上劃得很快。他剛才注意到，光刻工藝組提了個光源穩定性的需求，剛好是他之前刷到過的題型，晚上回去可以整理個最佳化方案出來，能把除錯時間縮短至少半個月。
會開了整整三個小時，散會的時候己經快十二點了。
大家三三兩兩地往外走，臉上都帶著笑，跟來的時候愁眉苦臉的樣子完全不一樣。周振國被部裡的領導叫去談話，臨走前拍了拍陳序的肩膀，讓他在會議室等一會兒，說有好事跟他說。
林曉留下來整理會議資料，把剛才大家提的需求挨個歸類。陳序幫她把散落的檔案收起來，剛把最後一本任務拆分表塞進檔案袋，會議室的門被推開了。
周振國站在門口，手裡拿著兩份紅標頭檔案，臉笑得像朵花。
“陳序，好事。”周振國走過來，把檔案遞給他，“剛才部裡領導剛說的，清北微電子學院和中科院微電所，剛才主動發了合作邀約過來，要跟我們一起搞這個專案。”
陳序捏著檔案的手頓了頓。
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