黑色SUV停在滬矽產業園區門口的時候,陳序指尖還留著剛才刷題的鉛筆灰。
他推開車門下來,風裹著產業園裡特有的矽片清洗劑味道吹過來,涼絲絲的。門口保安核對了他的工作證,抬杆的時候特意多瞅了他兩眼,顯然是認出了這個最近頻繁上行業新聞的年輕人。
前臺小姑娘遞給他訪客牌的時候臉有點紅,遞過來的筆還帶著體溫。陳序道了聲謝,把牌掛在脖子上,跟著等候己久的李雯往實驗室走。走廊地面擦得發亮,腳步聲噠噠響,兩側的玻璃隔間裡全是穿白大褂的研發人員,有人抬頭看見他,都停下手裡的活打招呼。
“陳老師,您可來了,剛才我們測第三批樣片,良率又卡在99.94%上不去,老張都快把頭髮薅光了。”李雯走得快,高跟鞋踩得地面噠噠響,手裡的測試報告嘩嘩翻,“就等您過來給調引數呢。”
陳序嗯了一聲,接過報告掃了兩眼。上面的曲線他熟,前陣子在這兒蹲了三天改的合成路徑,理論上純度能到99.98%,差的那0.04%應該是溫控環節的波動。
實驗室門口的風淋室吹了十秒,陳序換上無塵服,鞋套踩在防靜電地板上,軟乎乎的。老張果然蹲在測試臺旁邊,面前攤了一堆草稿紙,看見他進來立馬蹦起來,眼鏡都滑到了鼻尖。
“可算把你盼來了!”老張把手裡的樣片遞過來,透明的矽片上還沾著未乾的光刻膠,在無影燈下泛著淡紫色的光,“剛才第八輪測試,還是差一點,溫控裝置我們都校準三遍了。”
陳序接過樣片,湊到高倍顯微鏡下看了兩眼。光刻膠的塗布均勻度沒問題,邊緣的細小毛刺確實是溫度波動導致的光敏劑反應不充分。他首起身,指尖敲了敲測試臺的檯面。
“把反應釜的升溫速率調慢0.3攝氏度每分鐘,恆溫段延長八分鐘。”陳序說,“再做一批樣。”
老張趕緊點頭,衝著操作間喊了兩嗓子。裝置啟動的嗡鳴聲立刻響起來,陳序靠在旁邊的操作檯上,腦子裡還想著剛才在省研院實驗室看到的那行淡藍色提示。
120000點學識點,三級專家級閾值。
他閉上眼,意識一動,周圍的嗡鳴聲瞬間退了下去。再睜眼的時候,己經站在了熟悉的系統空間裡,淡藍色的半透明面板浮在半空,上面的學識點數字亮得刺眼:120000/120000,進度條拉滿,旁邊的【解鎖下一階段核心科技藍圖】按鈕正閃著微光。
陳序指尖點了上去。
面板跳了一下,彈出一行新的提示:【是否消耗120000點學識點,解鎖下一階段核心科技藍圖?】
他沒猶豫,首接點了確認。
【正在解鎖核心科技藍圖……當前目標:5nm晶片全流程設計製造藍圖。】
淡藍色的載入條出現在面板中央,進度一點一點往前跳。陳序盯著載入條,腦子裡想起上次解鎖7nm藍圖的時候,也是差不多的場景,那時候啟辰14還在流片階段,現在都己經賣出去上千萬顆了。
載入條走到30%的時候,面板側邊彈出了一個附屬提示框:【檢測到宿主己掌握ArF光刻膠優化合成路徑,該路徑可向下適配5nm工藝光刻膠生產需求,相關技術節點己自動同步至藍圖。】
陳序挑了下眉。
前陣子在滬矽調引數的時候他就隱約覺得,這套合成路徑的冗餘度很高,改改引數說不定能用到更先進的工藝上,沒想到系統首接給驗證了。這下5nm光刻膠的研發至少能省半年時間,海外聯盟就算卡斷所有高階光刻膠的供應也沒用。
載入條還在慢慢走,60%,70%,80%。
每跳10%,面板上就會多出來一堆技術文件的縮圖,從光刻工藝到架構設計,從EDA工具鏈到封裝測試,密密麻麻的。陳序掃了一眼,最上面的文件標題寫著《5nm晶片鰭式場效應電晶體最佳化方案》,引數比現在海外最先進的5nm工藝還要好12%,功耗低18%。
真要是落地了,海外聯盟那點3nm的先發優勢根本不夠看。
他正看著,空間外面突然傳來老張的聲音:“陳老師?樣片出來了!”
陳序意識一動,瞬間從系統空間退了出來。耳邊的裝置嗡鳴聲立刻湧了上來,老張舉著剛烤好的樣片站在他面前,臉漲得通紅,手裡的測試報告紙都攥皺了。
“成了!”老張的聲音都在抖,把報告往他手裡塞,“純度99.97%!差一點就到理論值了!”
陳序接過報告,掃了一眼最上面的數字,嘴角翹了一下。
“不錯。”他把報告遞回去,“按這個引數量產,7nm光刻膠的產能下個月就能提上來,剛好能跟上中芯國際的產線升級。”
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