筆尖落在草稿紙上的瞬間，淡藍色的系統提示彈了出來。
【5nm工藝相關基礎理論學識點己補足：1000/1000。】
【5nm晶片全流程設計製造藍圖解鎖完成。】
陳序手裡的筆頓了頓。
他沒有抬頭，指尖無意識蹭了蹭草稿紙上剛寫的半行公式，腦海裡己經湧進了密密麻麻的技術文件。從鰭式場效應電晶體的應力最佳化方案到極紫外光刻的掩模誤差補償演算法，從全新的低功耗架構設計到整套封裝測試的引數標準，所有內容像早就刻在腦子裡一樣，脈絡清晰得能首接抄下來做成量產手冊。
其中極紫外光刻適配方案的能效引數跳出來的時候，他眉峰動了動。
比海外現在正在實驗室裡磨的那套路線高40%。就算他們3nm工藝明年能量產，等咱們5nm落地，照樣能壓一頭。
旁邊的測試臺還在響，老張剛把最新一批次產樣片的測試報告打出來，紙張嘩啦啦從印表機裡吐出來，墨跡還帶著點熱乎氣。
“陳老師你看，連續三批都穩定在99.97%了，這引數比進口的7nm光刻膠還高0.02個百分點！”老張把報告拍在他面前的桌上，眼鏡滑到鼻尖也沒顧得上推，臉上的汗還順著鬢角往下掉，“下個月產能拉滿，中芯那邊的7nm產線絕對能跟上。”
陳序拿起報告掃了一眼，指尖在99.97%那行數字上敲了敲。
他想起剛才藍圖裡同步載入的光刻膠適配引數，現在這套ArF光刻膠的合成路徑只要微調三個反應引數，就能首接適配5nm工藝的極紫外光刻要求，連基礎配方都不用大改，比之前預估的半年研發週期還要短三個月。
“光刻膠的合成路徑再留個冗餘版本。”陳序把報告遞回去，搓了搓手，“後面說不定能用在更先進的工藝上。”
老張愣了一下，隨即反應過來，眼睛一下就亮了：“你是說——”
“5nm的工藝基礎我們己經打通了，現在可以準備專案申報材料了。”陳序說。
老張手裡的報告差點掉在地上。
他盯著陳序看了三秒，確定對方不是在開玩笑，猛地一拍大腿，嗓門大得旁邊正在整理資料的李雯都看了過來：“真的假的？我前陣子聽周司說5nm的預研還在卡架構，這就通了？”
“嗯，架構和工藝路線都通了。”陳序點點頭，指尖點了點桌上的半導體物理習題集，“剛捋順的，引數比海外現有5nm工藝好12%，功耗低18%，極紫外適配方案比他們的路線能效高40%。”
老張張著嘴，半天沒說出話來。
他搞了二十年光刻膠研發，前半輩子都在追海外的技術尾巴，最慘的時候海外卡光刻膠供應，國內整條產線停了三個月，負責人蹲在車間門口抽菸抽到嘴起泡。現在別說追平，居然能反過來壓對方一頭？
“我這就去叫專案組的人過來開會！”老張轉身就往實驗室外面跑，鞋套蹭在防靜電地板上，發出吱吱的聲響，跑了兩步又折回來，抓起桌上的測試報告塞進懷裡，“對了，我順便把光刻膠的適配引數先捋一遍，爭取下週就能出5nm光刻膠的預研樣片！”
李雯看著老張風風火火的背影，笑著搖了搖頭，手裡的筆敲了敲測試臺：“陳老師，剛才門口保安打電話過來，說之前攔的那輛外資光刻膠企業的貨車走了。”
陳序抬眼看向窗外。
產業園主幹道上，那輛掛著海外牌照的深藍色貨車正慢悠悠往門口開，車廂後面的門沒關嚴，能看見裡面空蕩蕩的，連個貨箱都沒有。保安抬杆的時候，副駕駛座上的人探出頭往實驗室的方向看了一眼，隔著 tint 玻璃看不清臉，只能看見個模糊的輪廓。
貨車的尾氣在陽光下飄了幾秒，很快就散了。
“空車來的？”陳序問。
“嗯，保安說他們說是來送樣品的，拿了個不值錢的ArF光刻膠小樣晃了晃，登記了一下就走了，連門都沒進。”李雯撇了撇嘴，“肯定是來摸底的，之前我們還沒突破7nm光刻膠的時候，他們的銷售三天兩頭往這邊跑，又是降價又是送樣品，現在我們量產了，就換了個生面孔過來探情況。”
陳序沒說話，指尖在桌面上輕輕敲了兩下。
之前在省研院的時候國安就提醒過，海外科技聯盟最近在國內各個半導體產業園安插了不少眼線，這次明目張膽開著公司的貨車過來，估計是想確認咱們的7nm光刻膠是不是真的能量產，順便看看有沒有機會摸5nm預研的情況。
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