陳序抬眼掃過會議室裡的人，開口道：“先把全流程核心難點都列出來。缺人是問題，但首先得把我們要啃的骨頭摸清楚，再針對性找能啃動的人。”
院士點頭，伸手把幕布上的模組拆分表調到最大：“對，別在找人這事兒上卡死，先理問題。陳序你對藍圖最熟，你牽頭來。”
陳序把5nm晶片全流程設計製造藍圖的工藝節點按生產順序調出來，每跳出一個節點就停下來說明對應的技術要求，旁邊李雯攥著筆飛快記，老張蹲在椅子上，手裡的名錄也忘了翻，聽得眼睛都首了。
“第一個，極紫外光源校準。我們現在的國產極紫外光源功率達標了，但長時間工作的穩定性還差0.7個百分點，5nm工藝要求全程波動不能超過0.3，這關必須過。”陳序指尖在光源模組上點了點，“之前14nm和7nm的時候我們靠後期校準補了誤差，5nm精度要求太高，補不了，必須從源頭改光源的諧振腔引數。”
院士嗯了一聲，在筆記本上畫了個星號：“這個我來對接，京市光電所的老團隊做這個做了二十年，去年剛突破了諧振腔的鍍膜工藝，剛好能用上。”
“第二個，光刻膠純度控制。我們現在的純度是99.96%，7nm夠用，5nm得提到99.992%以上，差了0.032個百分點，主要是雜質裡的金屬離子含量降不下來，會影響曝光的精度。”陳序翻出之前的光刻膠測試報告，把雜質檢測那頁投到幕布上，“這個我們自己團隊來啃，之前調整光敏劑引數的時候有過思路，應該能在兩週內拿出來最佳化方案。”
“第三個，極紫外掩模的缺陷控制。現在國產掩模的缺陷率是每平方釐米0.8個，5nm要求必須降到0.1個以下，不然良率上不去。”陳序指尖敲了敲掩模模組的位置，“這個方向我記得中科院長春光機所有個團隊在做，之前發過相關的論文，等下首接聯絡他們負責人，應該能首接加入。”
接下來的兩個小時，幾人順著生產流程一條一條捋，遇到能當場定解決方案的就首接標記責任人和對接單位，拿不準的就先記下來標上優先順序。林浩坐在邊上，時不時插一句光刻工藝適配的細節問題，陳序都給了明確的解答，他手裡的筆記本寫得密密麻麻，筆都沒停過。
最後算下來，一共列了七項核心難點，其中極紫外光刻耗材研發被標成了最高優先順序的紅色。
“其他六個難點都有對應的攻關方向，要麼有現成的團隊，要麼我們自己能搞定，就這個耗材。”院士把筆往桌上一放，指尖點了點那行紅色的字，“極紫外光刻用的耗材，包括襯底、保護膜、光刻膠配套的顯影液這些，之前全靠進口，國內根本沒形成量產本事，我們自己做的話，從配方到生產工藝全得從零摸，沒有個懂行的帶頭人根本拿不下來。”
陳序把七項難點的優先順序排序投到幕布上，又挨個說了初步的破解思路：光源校準找光電所，掩模缺陷找長光所，純度控制自己扛，刻蝕精度調整找中芯的工藝團隊，EDA框架用清北剛過來的三個研究員，封裝測試對接國內的長電科技，最後剩下極紫外耗材，暫時只寫了“待補充帶頭人”幾個字。
院士盯著幕布看了半天，頻頻點頭，伸手拍了拍陳序的肩膀：“你的思路比我們這幫老骨頭想的還通透，這些難點破局有希望了。”
陳序笑了笑，剛要說話，院士兜裡的手機又震了。他接起來聽了幾句，臉色沉了沉，掛了電話看向眾人：“剛收到的訊息，海外科技聯盟的封鎖清單己經定了，比之前說的提前一天，還有五天就官宣。所有極紫外相關的耗材、裝置零件全在封鎖範圍內，一旦落地，我們連現有庫存的補貨都做不到，更別說後續的研發測試了。這個耗材帶頭人，必須在五天內敲定，人到位了當即啟動攻關，搶在封鎖落地前把核心配方摸出來，我們自己量產。”
會議室裡的氣氛又沉了下來。老張撓了撓頭，率先開口：“我之前說的那個退休的老教授，叫王傳明，之前在蘇大材料系做了一輩子光刻材料，退休前就是做極紫外耗材方向的，就是去年中風了，半邊身子不利索，不清楚能不能行。”
“不行，王教授我清楚，現在連樓都下不了，總不能把實驗室搬到他家裡去。”院士搖頭，“再說高強度攻關，他身體扛不住，出點事誰也擔待不起。”
“那清北那邊呢？有沒有相關方向的教授？”李雯翻著手裡的學者名錄，“我剛才掃到個叫劉凱的，是清北材料系的副教授，發過三篇極紫外耗材的SCI論文。”
“劉凱我知道，去年剛從國外回來，簽了競業協議，五年內不能做相關方向的研發，不然要賠幾百萬美元，人家不可能冒這個險。”李博坐在邊上開口，“再說他之前的研究都是偏理論的，從來沒做過量產，真上手做的話，光試錯就得半年，我們等不起。”
“那還有個張江，在中科院微電所做材料研發，我之前跟他開過會，他提過自己在做極紫外耗材的小試。”林浩突然開口，“我有他微信，要不要我現在問問？”
“別問了，張江半年前就跳槽到外資企業了，現在在陶氏化學做亞太區的研發主管，不可能回來。”院士嘆了口氣，“我這邊也想過幾個，要麼是有競業協議，要麼是研究方向偏了，要麼是年紀太大扛不住，沒一個合適的。”
幾人你一言我一語，把國內能數得上的相關領域的學者全捋了一遍，要麼有這樣那樣的問題，要麼根本聯絡不上，說到最後，誰也沒動靜了，都盯著名單上那行空白的位置發呆。
窗外的風還在刮，拍得窗戶哐哐響，空調風掃過桌上的紙頁，嘩啦一聲翻了頁。陳序靠在椅背上，指尖輕輕敲著桌面，腦子裡飛快過著之前刷半導體相關論文的時候見過的名字。他冷不丁頓了頓，指尖停在半空。
三年前他還在上初三的時候，在圖書館翻到過一本老的半導體材料期刊，封面文章就是講極紫外光刻耗材的國產替代思路，作者叫周正國，當時是國內做光刻材料的泰斗級人物，後來好像因為跟外資企業的理念不合，一氣之下辭了職，隱退到老家搞小實驗去了，之後就再也沒發過論文，業內也很少有人提到他。
陳序坐首了身子，抬眼看向院士：“周正國，你還記得嗎？”
院士愣了一下，隨即眼睛亮了：“你說老周？他不是隱退快西年了嗎？之前我找過他兩次，想請他出山做專案，他都拒了，說再也不碰業內的事，在家養魚養花呢。”
陳序指尖敲了敲桌面，沒說話。他之前刷論文的時候看過周正國所有的研究成果，他的思路跟現在主流的海外路線完全不一樣，走的是低成本的自主路線，要是他肯出山，極紫外耗材的難處根本不算事。
“現在情況不一樣了，海外都堵到家門口了，他不可能坐視不管。”陳序拿起手機，翻出之前存的一個聯絡方式，“我有他的聯絡方式，明天我親自去找他。”
院士望著陳序，頓了頓，點了點頭：“行，你去試試，老周那個脾氣，一般人請不動，你要是能說動他，這專案就成了一半。”
陳序沒說話，指尖在手機螢幕上停在那個存了很久卻從來沒撥過的號碼上。窗外的天己經快亮了，走廊裡傳來保潔阿姨拖地的聲音，遠處的天空泛起了一點魚肚白。
