陳序剛在靶材對應的國產廠商名字後打完勾,兜裡的工作機又震了一下,是材料研發組組長髮的訊息,說人都齊了。他把清單往桌上一放,轉身快步走出會議室,首奔材料研發組的專屬會場——晶片專案組會議室。
會議室裡己經坐了十來個人,桌上堆著半人高的材料檢測報告和供應鏈清單,空氣裡飄著淡淡的速溶咖啡味。見陳序進來,所有人都抬頭看向他,沒出聲,等著他開口。
“廢話不多說,今天召集大家來,就是正式啟動高階半導體材料國產替代專項攻關。”陳序走到主位坐下,把剛整理出來的7種待適配國產材料清單往桌上一推,“之前全鏈核查出來的卡脖子點,一半都卡在材料上。芯盟現在盯著我們的供應鏈搞破壞,越早把材料的自主權攥在手裡,我們越主動。”
他話音剛落,會議室門被輕輕敲了兩下,一個穿藏青色衝鋒衣的姑娘抱著個恆溫箱待在門口,額頭上還沾著點汗。“陳工,我是滬矽產業光刻膠專案部的李雯,剛送光刻膠小試樣品過來。”
“進來吧。”陳序抬了抬手。
李雯快步走到桌旁,把恆溫箱小心放在桌上,輸入密碼開啟箱門,裡面整整齊齊擺著八支密封的玻璃試管,外面裹著厚厚的保溫棉。“這批是我們剛做出來的小試樣品,按之前給的引數調了三次配方,昨天剛出的檢測報告。”
她從包裡掏出一疊檢測單,遞到陳序面前,又拿起一支試管對著燈光晃了晃:“我們現場核了核心引數,光敏性達標,解析度比預設值還高兩個百分點,殘留率控制在千分之零點三,整個符合7nm工藝的要求。”
陳序翻了翻檢測報告,每一項引數後面都蓋著滬矽實驗室的鮮章,資料標得清清楚楚。他把報告遞給旁邊的工藝組組長,剛要說話,會議室門又被推開了,一個頭發花白的老人扶著門框待在門口,手裡攥著個磨得發白的筆記本。
“王教授?您怎麼過來了?”陳序趕緊起身迎上去。
王傳明擺了擺手,另一隻手還按在腰上,顯然術後還沒完全恢復。“我在家待不住,聽說你們要啟動材料攻關,特意把之前做光刻膠改性的筆記整理了一下。”他把手裡的筆記本遞過來,封皮上還寫著2019年的日期,“裡面記了我之前做實驗時踩過的坑,還有幾個改性方向的思路,說不定能給你們省點時間。”
旁邊的工藝組組長趕緊接過筆記本翻了兩頁,眼睛一下子亮了:“王教授,您這筆記裡記的光敏劑合成溫度調整思路,剛好能解決我們之前小試時純度上不去的麻煩啊!”
“能用得上就行。”王傳明笑了笑,被陳序扶著坐到旁邊的椅子上,“我現在雖然不能熬夜做實驗,但有什麼難處隨時給我打電話,我還能幫著出出主意。”
幾個人正圍著筆記討論,門口傳來一陣腳步聲,一個穿格子襯衫的男人拎著個雙肩包站在門口,臉上還帶著點趕路的風塵。“請問是陳工嗎?我是劉凱,清北材料系的,昨天剛辦完競業協議的解除手續,過來報到。”
陳序趕緊走過去和他握手:“劉教授,可把你盼來了。之前你匿名提交的光刻膠配方改良思路,幫我們省了至少兩週的研發時間。”
劉凱笑了笑,把雙肩包放在桌上,從裡面掏出一疊厚厚的資料:“我昨天把之前做特種光刻膠量產工藝的資料都整理了,剛好可以對接現在的專案。量產除錯這塊我熟,有什麼問題隨時安排。”
這下會議室裡的氣氛徹底活躍起來,之前緊繃的臉色都鬆了不少。有人給王傳明倒了杯熱水,有人拿著李雯帶來的檢測報告和劉凱討論量產引數,還有人對著王傳明的筆記記重點,筆尖在紙上劃得沙沙響。
陳序靠在椅背上,看著眼前的場景,懸了好幾天的心終於落了點。他拿起筆,在攻關進度表上光刻膠研發那一項後面,連著打了三個勾。“材料是晶片的骨架,每一項引數都要摳到極致才敢談量產。接下來我們分三個小組,李雯帶樣品去實驗室做適配測試,王教授牽頭做配方最佳化,劉凱負責量產工藝除錯,有問題隨時同步。”
幾個人剛要應聲,陳序的工作機突然又震了,是安保組組長打來的,動靜壓得很低:“陳工,剛查到境外IP在半個小時前訪問了我們的內部人員系統,新入職的劉教授和王教授的資訊己經被同步到北美那邊了,芯盟現在應該己經鎖定了我們的光刻膠研發方向。”
陳序握著手機的手緊了緊,抬眼掃了一圈會議室裡的人,大家還在熱烈討論著引數,沒人察覺到異常。他壓下聲音,對著電話說:“知道了,繼續溯源,把訪問記錄都留好。”
掛了電話,他沒聲張,只是拿起桌上的材料清單敲了敲桌子:“先停一下,從現在起,所有光刻膠相關的研發資料全部加密,不準帶出實驗室,所有對外溝通必須走保密通道。我們現在走的每一步,都有人盯著。”
眾人愣了一下,隨即都反應過來,臉上的笑意收了收,紛紛點頭。沒人問原因,這段時間接二連三的洩密事件,大家都心裡有數。
接下來的兩個小時,幾個人把光刻膠研發的各個節點都排了出來,從引數適配到配方最佳化再到量產除錯,每個環節都卡死了時間點。劉凱還提出了三個量產時可能遇到的工藝麻煩,大家對著王傳明的筆記討論了半天,都找到了初步的解決思路。
散會的時候己經是晚上九點多,李雯抱著恆溫箱先去了實驗室,王傳明被工作人員扶著回宿舍休息,劉凱留下來和工藝組對接之前的實驗資料。陳序坐在會議室裡,對著進度表又核對了一遍時間節點,剛要起身去實驗室看看測試情況,頭頂的燈忽地閃了兩下,緊接著整個會議室的電腦螢幕同時黑了一秒,又快速恢復正常。
桌上的座機突然響了,是實驗室打來的,接線的測試員聲音帶著點慌:“陳工,剛才整個研發區突然供電波動,我們正在跑的光刻膠核心測試資料出現了短暫異常,現在正在核對資料完整性。”
陳序猛地站起身,走到窗邊看向樓下的研發樓,整棟樓的燈都亮著,看起來和平時沒什麼兩樣。他捏了捏手裡的筆,指節微微泛白。
“先暫停所有測試,核對完資料再繼續,我馬上過來。”
他掛了電話,抓起桌上的資料就往門外走,腳步比剛才快了不少。走廊裡的燈也在閃,遠處隱約傳來安保人員的腳步聲,整個基地的空氣,又緊繃了起來。








