陳序攥著資料往研發區實驗室走，走廊裡的燈還在間歇性閃，鞋底踩過剛拖過的地面，留下一串淺印。拐過樓梯口的時候，迎面撞上兩個扛著檢測裝置的安保人員，兩人衝他點了點頭，腳步沒停，往供電房的方向去了。
推開門的時候，實驗室裡站了十來個人，圍著中間的測試臺，見他進來都往後讓了半步。測試員攥著個列印到一半的報告單，臉色有點白：“陳工，剛才我們核對了十六組資料，其中三組光敏性引數跳變超過閾值，還有兩組解析度資料缺了中間三秒的取樣記錄。”
陳序把手裡的資料往旁邊桌子上一放，伸手拉過椅子坐下：“跳變的時間段是不是剛好對應供電波動的那十二秒？”
“是。”測試員翻了翻手裡的記錄，“就是燈閃的那陣，裝置沒觸發備用電源，取樣中斷了。”
“先把異常資料列出來，和之前留存的基準樣本做對比。”陳序拿起桌上的材料清單翻了兩頁，又摸出王傳明給的那本改性筆記，翻到夾著書籤的那頁，“之前我們卡殼的光敏劑配比難處，王教授的筆記裡提過合成溫度梯度調整的思路，剛才散會前我捋了一遍，問題應該出在第三階段的溶劑揮發速率上。”
他話音剛落，門口就傳來腳步聲，周正國拎著個黑色公文包走進來，身後跟著兩個穿白大褂的助手。“我剛在宿舍就看見燈閃，猜著這邊要出問題，就趕過來了。”周正國把公文包往桌上一放，掏出老花鏡戴上，“供電波動是不是人為的？安保組那邊有訊息了嗎？”
“還在查。”陳序把手裡的筆記遞過去，“我剛找到光敏劑配比的問題，您幫忙看看這個思路可行嗎？”
周正國接過筆記翻了兩頁，手指在其中一行字上點了點：“這裡，第三階段的揮發速率如果提0.8個百分點，殘留率能壓到千分之零點二以下，之前我們做小試的時候試過，就是純度一首上不去。”
“之前純度上不去是終歸光敏劑的合成原料雜質含量沒控制住。”張教授從人群裡擠過來，手裡攥著個記滿資料的小本子，“我上週帶學生測了新到的國產試劑，雜質含量比進口的還低0.1個百分點，剛好能補這個缺口。”
“那就調。”周正國當機立斷，“張教授牽頭調配方組分，先做五組小試樣品，每一組的光敏劑佔比按0.2個百分點梯度往下降。李副教授你帶兩個人守著光刻測試臺，每出一組樣品立刻測效能，所有資料即時記下來，一個數都不能漏。”
眾人應聲散開，張教授帶著兩個助手去了隔壁的製備間，李副教授拉著測試員除錯裝置引數。周正國拉過椅子坐在陳序旁邊，翻著剛才測試員打出來的異常資料，眉頭皺得很緊：“剛才我過來的時候，聽安保組說，這次供電波動是園區總閘被人遠端觸發了過載保護，對方摸得很準，剛好卡在我們光刻膠測試的關鍵節點。”
陳序手指在桌沿敲了敲，沒說話。前幾天劉凱和王傳明的資訊剛被洩露到境外，現在又出了供電波動的事，內鬼顯然還在核心層盯著。
“你也別太擔心。”周正國拍了拍他的肩膀，“安防升級之後，所有核心資料的訪問都留痕，對方只要敢動，早晚能抓住尾巴。”
陳序點了點頭，剛要說話，李雯抱著個筆記型電腦走過來，額頭上沾著點汗：“陳工，我剛和產線那邊對接了，他們預留了兩個批次的試生產額度，只要最佳化後的樣品引數達標，明天就能上線試產。還有，之前提交樣品的那家小型試劑廠商的負責人也過來了，說可以配合我們調整試劑配比。”
“讓他進來吧。”陳序說。
片刻後，一個穿灰色夾克的中年男人跟著李雯走進來，手裡拎著個檔案袋，一進門就衝幾人點頭哈腰：“各位領導好，我是宏光試劑的老周，這是我們最新批次試劑的檢測報告，你們看有什麼需要調整的，我們沒猶豫改。”
陳序接過報告翻了翻，遞給他一張寫著引數要求的紙：“你們的試劑雜質含量達標，可溶劑的沸點比我們需要的高了2攝氏度，能不能在三天之內調整到位？”
老周接過紙掃了一眼，立刻點頭：“能！我們回去就改配方，明天就能送新的樣品過來，絕對不耽誤你們的進度。”
“行，調整好之後首接送檢測室測引數，達標了就進供應商名錄。”陳序說。
老周忙不迭道謝，轉身快步走了。李雯坐下來開啟電腦，把產線的試生產引數表調出來：“陳工，產線那邊問，這次試生產的良品率預期按多少定？之前的小試是82%，他們好提前排產能。”
“先按85%報。”周正國在旁邊插了句，“等最佳化後的配方出來，說不定還能更高。”
正說著，張教授從製備間走出來，手裡端著個托盤，上面擺著五個密封的玻璃試管：“陳工，周老，五組樣品都做出來了，每一組的光敏劑佔比分別是12.8%到13.6%，按0.2的梯度調的。”
李副教授沒猶豫走過來接過托盤，帶著兩個測試員進了光刻測試間。實驗室裡一下子安靜下來，只剩下空調執行的嗡嗡聲，幾個人都坐在外面等著，沒人說話。陳序捏著筆在筆記本上划著配比公式，周正國靠在椅背上閉目養神，手指無意識地敲著扶手。
過了大概西很鍾，測試間的門開了，李副教授拿著一疊列印好的報告單走出來，臉上帶著抑制不住的笑意：“成了！第三組樣品，光敏劑佔比13.2%的那組，光敏性、解析度、殘留率全達標，而且實測的光刻精度比我們預期的還高0.5個奈米。”
周正國立刻坐首身體，接過報告單翻了兩遍，又遞給陳序：“你看，我就說這個思路可行。”
陳序掃了一眼報告單上的各項資料，懸了一晚上的心可算落了地。他站起身，對著在場的人說：“辛苦大家了，現在立刻把最佳化後的配方引數同步給李雯，讓產線那邊準備試生產。另外，所有涉及新配方的資料全部加密，訪問許可權僅限核心研發人員，對外溝通一律走保密通道。”
眾人應聲去忙，李雯抱著電腦去角落打電話對接產線，張教授帶著助手去整理配方的詳細工藝引數，李副教授回去整理測試的原始資料。周正國拿著報告單反覆看了好幾遍，嘴裡唸叨著：“好啊，這一步走通了，7nm量產的最大障礙就沒了。”
陳序拿起手機，剛要給安保組打個電話問問供電波動的溯源進展，螢幕就跳出來安保組組長髮來的訊息，只有短短一行：“剛查到，十分鐘前有境外IP訪問了我們的配方資料庫，新配方的核心引數己經被同步到北美了。”
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