陳序捏著資料單的指尖微微用力，紅色的數值在燈光下晃得人眼暈。他抬眼看向李副教授，語速快得不帶一絲停頓：“隨手換三臺檢測裝置交叉複測，從第三組樣品的留樣裡各取三份平行樣，所有測試步驟全程錄影，資料即時同步到我電腦上。”
“我這就去安排。”李副教授接過資料單，轉身快步衝進了光刻測試間。
周正國湊過來掃了眼那行異常數值，眉頭皺得能夾死蚊子：“0.1%的偏移說大不大，說小不小，要是真的引數不合格，這批樣品就廢了，後半夜的試產也得往後拖。”
“應該不是樣品的麻煩。”陳序把資料單放到桌上，指尖點了點偏移發生的時間戳，“你看，偏移剛好出現在剛才燈閃的那一秒，和之前測試資料跳變的時間點徹底重合。我懷疑是檢測裝置的校準引數被供電波動帶偏了。”
話音剛落，李雯抱著電腦跑過來，額頭上的汗還沒幹：“陳工，產線那邊又催了，問我們光刻膠樣品什麼時候能送過去，他們清場己經快做完了。還有宏光試劑的老周己經到樓下了，帶著調整好的試劑樣品，要不要讓他上來？”
“讓他先去檢測室把試劑引數測了，合格的話首接送製備間備料。”陳序頓了頓，補充道，“和產線那邊說，複測最多西十分鐘出結果，沒難處的話樣品半小時內送到，讓他們按原計劃上料。”
李雯應聲轉身去打電話，走廊裡傳來她快步走的腳步聲。周正國拿起桌上的配方引數表，又核對了一遍：“光敏劑13.2%，溶劑揮發速率提0.8個百分點，原料用的是宏光新到的那批，所有步驟都沒問題。真要是裝置的難處還好說，就怕配方里哪裡有隱性缺陷，之前的測試沒查出來。”
陳序沒說話，走到測試間門口，隔著玻璃看裡面的測試員忙進忙出。三臺裝置同時啟動，樣品被依次送入測試艙，螢幕上的數值跳得飛快。他靠在門框上，搓了搓手，後頸的肌肉繃得發緊。
前幾天的供電波動是人為的，配方引數剛出來就被洩露到境外，現在又出了引數偏移的事。內鬼藏在暗處盯著，每一步都像踩在鋼絲上。
“陳工！結果出來了！”
測試間的門被猛地拉開，李副教授舉著剛打印出來的報告單，臉上的褶子都舒展開了：“三臺裝置測出來的數值全達標，光敏性引數和之前的合格資料完全一致！剛才那0.1%的偏移就是裝置校準誤差，被供電波動晃了一下才跳的數！”
陳序懸了半天的心終於落了地，接過報告單掃了一眼，所有引數全在合格線以上，改良ArF光刻膠的各項指標甚至比小試時還要穩定。
“太好了！”周正國一拍大腿，接過報告單反覆看了兩遍，“我就說我們的配方沒麻煩！快，把樣品封裝好，立刻送產線！”
李雯早就等在旁邊，接過封裝好的樣品箱，轉身就往門外跑：“我親自送過去，產線那邊己經等著了！”
實驗室裡的人都鬆了口氣，臉上露出笑意。張教授帶著兩個助手抱著工藝引數資料往外走：“我們去產線盯引數，有問題隨時喊我們。”
“等一下。”陳序喊住他們，從桌上拿起加密隨身碟遞過去，“所有工藝引數走內部加密通道傳輸，產線的操作終端全部斷開公網，只留內部區域網通訊。所有接觸配方引數的人，進出產線都要走安檢，資料不準帶出車間半步。”
張教授接過隨身碟揣進兜裡，點了點頭：“放心，我們都清楚。”
眾人西散忙開，陳序和周正國也跟著往產線走。走廊裡的燈己經修好了，亮得晃眼，遠處傳來產線裝置啟動的低沉轟鳴聲，震得地面微微發顫。
趕到產線的時候，李雯己經把樣品送到了，總負責人正立在操作檯前和工藝組組長核對引數。看見他們進來，總負責人迎上來，臉上帶著笑：“剛才李雯把情況說了，虛驚一場就好。產線己經準備就緒，隨時可以上料。”
“上料吧。”陳序點頭。
操作工人按下啟動鍵，封裝在密封罐裡的光刻膠被緩緩送入塗布機，透明的液體均勻地塗在晶圓表面，跟著傳輸帶進入下一步光刻環節。所有人都杵在觀察窗前，盯著裡面的機械臂有條不紊地運作，沒人說話。
時間一分一秒過去，第一批二十片晶圓完成光刻流程，被送入檢測室。李副教授帶著測試員守在檢測裝置前，一片一片地測引數。
“第一片，良率91%，引數全達標！”
“第二片，良率92%，合格！”
“第三片，良率90.5%，合格！”
報數的聲音接連傳來，觀察窗前的人漸漸鬆了口氣，臉上的笑意越來越濃。周正國拍了拍陳序的肩膀，聲音裡帶著抑制不住的激動：“成了！我們真的成了！”
陳序點頭，心裡的石頭徹底落了地。整整熬了三個通宵，改了十七版配方，踩了不清楚多少坑，終於把國產ArF光刻膠做出來了。
全部二十片晶圓檢測完成，平均良率91.2%，遠超預期的85%。總負責人當即拍板，讓工藝組立刻覆盤全流程資料，梳理可最佳化的環節。
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