陳序幾步走到運輸箱邊，伸手敲了敲箱體的鋁合金外殼。負責對接的工作人員趕緊遞過來列印好的引數對照表，指尖還沾著剛才比對介面蹭到的石墨粉。
“陳組長，你看，鏡組這邊的對接法蘭是M12的標準，光源那邊傳過來的引數是M10的，差了兩個號，插不進去。”工作人員指著表上兩列標紅的數值，聲音裡帶著點慌。
陳序掃了眼數值，又抬頭看了眼周所長。周所長的臉己經沉了下來，眉頭擰得能夾死蚊子。
“光源出廠的時候沒核對對接引數？”周所長的聲音壓得很低，帶著火氣。
“核對過啊，上個月的出廠校驗報告上寫的都是M12，這怎麼突然就變了？”工作人員急得額頭冒汗，翻出手機裡存的出廠報告截圖遞過來，“你看，這是當時微電所那邊發過來的確認件。”
陳序接過手機看了一眼，截圖上的引數確實標著M12。他抬頭看向站在人群后面的中科院微電所聯絡人，對方立刻擠了過來，手裡攥著個工作本。
“怎麼回事？”陳序問。
“我剛問了所裡的生產部，”聯絡人的聲音也發緊，“上週光源最後一輪校準時，為了適配新的減震結構，臨時把法蘭介面換成了M10的，改引數的通知沒同步到總裝這邊，是我們的工作失誤。”
周所長氣得捏緊了拳頭，剛要開口罵，陳序擺了擺手打斷他。
“現在追責沒用，先解決難處。”陳序看向聯絡人，“所裡有沒有備用的M12法蘭？或者有沒有快速改接的方案？”
“有，有。”聯絡人趕緊點頭，“所裡庫房有現成的適配工裝，我剛才己經叫人送過來了，走的應急通道，大概半小時能到。就是換上之後得重新做同軸度校準，可能要多花點時間。”
“行，你盯著對接，工裝到了第一時間通知我們。”陳序轉頭看向旁邊的助理，“各部件的出廠校驗報告都準備好了嗎？”
“準備好了，陳組長。”助理趕緊把懷裡抱著的一摞檔案遞過來，“所有部件的檢測報告、溯源記錄、出廠校驗單都按模組分類理好了，除錯工位上也放了電子檔，隨時能查。”
陳序翻了翻最上面的光源檢測報告，確認引數都和之前拿到的一致，才遞給周所長：“通知操作工程師，先啟動整機通電程式，除了光源對接模組，其他模組先跑一遍自檢，有問題及時報。”
“好。”周所長當即轉身去安排。
光刻機操作工程師早就等在操作檯邊，接到指令立刻按了開機鍵。主控螢幕上的模組指示燈一個接一個亮起來，執行資料一行行跳出來，工程師手裡拿著筆，飛快地在記錄表上寫著，時不時報個正常。
陳序站在操作檯邊，眼睛盯著螢幕上跳動的數值，指尖在臺面上輕輕敲著。剛才鏡組總裝的那股子鬆快勁兒早就沒了，整個人又回到了之前緊繃的狀態。他太清楚了，極紫外光刻機的總裝就是這樣，一關接一關，只要有一個引數不對，前面所有的努力都可能白費。
半小時後，中科院微電所的人果然抱著適配工裝衝了進來，滿頭是汗，連無塵服都沒來得及換。
“陳組長，工裝拿來了，全新的，剛從校準室拿出來的。”來人把工裝遞過來，還帶著校準室的封條。
試裝工程師隨手上前接了，先核對了工裝的校準證書，確認沒麻煩才動手拆封。他現在比誰都仔細，上次的溫差失誤還歷歷在目，這次半分不敢大意。
拆封、清潔、塗密封膠、對接法蘭、擰螺栓，每一步都按操作規範來，旁邊的檢測員拿著力矩扳手，每擰一顆螺栓都報一次力矩值，確保每顆的受力都均勻。
“力矩12牛米，正常。”
“法蘭間隙0.001奈米，正常。”
“同軸度校準完成，偏差0.01奈米，正常。”
試裝工程師鬆了口氣，抬手抹了把額頭上的汗，轉頭看向陳序：“陳組長，對接完成，所有引數正常，可以啟動聯動測試了。”
陳序頷首，看向操作工程師：“啟動鏡組、光源、運動平臺聯動校準程式。”
