操作工程師按了確認鍵，主控螢幕上的三個模組瞬間亮起綠色的聯動標識。運動平臺起手按預設軌跡低速移動，光源發出的極紫外光沿著鏡組的光路一點點調整角度，旁邊的應力檢測儀即時反饋著鏡組的應力變化。
中科院微電所的研究員站在檢測儀邊上，眼神死死盯著螢幕上的曲線，手裡拿著筆，每頗為鍾記錄一次資料。
“應力值0.27帕，正常。”
“運動平臺位移100毫米，鏡組同軸度偏差0.01奈米，正常。”
“光源功率波動0.1%，正常。”
時間一分一秒過去，聯動校準整整跑了六個小時。研究員手裡的記錄表寫滿了三頁，所有資料都穩穩落在設計閾值內，沒有一次異常波動。
“陳組長，六小時動態應力監測完成，全程無異常波動。”研究員把記錄表遞過來，聲音裡帶著抑制不住的激動。
陳序接過來看了一眼，又看向光刻工位測試工程師：“啟動全工況曝光測試，跑兩個小時，重點測功率穩定性。”
“明白。”測試工程師沒猶豫操作起來，晶圓被送入曝光倉，光源功率逐漸提升到額定值，曝光程式啟動。
所有人都圍到了測試屏邊，看著上面的功率曲線平穩。
很鍾、半小時、一小時、一個半小時，兩個小時的測試時間很快就到了。測試工程師按下停止鍵，系統自動生成了測試報告。
“曝光功率穩定性偏差0.08%，連續兩小時符合設計標準！”測試工程師的聲音都抖了，抬著頭看向陳序，眼眶都紅了，“陳組長，所有測試項都過了！”
陳序盯著螢幕上的最終檢測報告，一行行看過去。鏡組應力、同軸度、光源功率、運動平臺精度、曝光均勻度，所有引數後面都標著綠色的“合格”。
他長長舒了口氣，轉頭看向周圍的人。所有人都盯著他，目光亮得嚇人，連呼吸都放輕了，等著他開口。
“整機引數全部達標，我們的EUV光刻機成了。”
陳序的話音剛落，整個總裝車間瞬間爆發出震天的歡呼聲。有人把手裡的記錄表扔上了天，有人抱著身邊的同事跳了起來，試裝工程師蹲在地上，捂著嘴哭出了聲。周所長走過來，狠狠拍了拍陳序的肩膀，力道大得差點把他拍倒，老頭子臉上滿是眼淚，嘴咧得老大，連話都說不出來。
陳序站在人群中間，看著一張張滿是汗水和笑意的臉，心裡也翻湧著熱浪。從最開始被卡脖子的憋屈，到一步步攻關的艱難，再到現在整機除錯合格，這一路走了多久，只有他們自己知道。
“把今天的除錯全量資料整理好，加密上傳到國家會議中心涉密機房，所有操作記錄留底。”陳序等大家的歡呼聲小了點，才開口安排後續工作，“另外，通知安保組，查一下最近涉密機房的訪問日誌，有沒有異常。”
助理應了一聲，轉身去辦。沒過十分鐘，助理就跑了回來，臉色有點不對。
“陳組長，涉密機房的訪問日誌裡，最近三天多了三條陌生IP的查詢記錄，都是試圖調取光刻機總裝和除錯資料的，被防火牆攔下來了。”
陳序的臉色瞬間沉了下來。他就知道，芯盟的人不會這麼消停，這麼大的事，他們肯定會想方設法刺探情報。
“把IP地址交給國安那邊溯源，另外，所有核心資料的訪問許可權再收一級，除了核心組成員，其他人一律調不了。”陳序剛說完，口袋裡的手機就震了起來。
他掏出來看了一眼，是國安部門的專線電話。
陳序走到沒人的角落接起電話，聽了半分鐘，臉色越來越凝重。掛了電話，他轉身看向還在慶祝的人群，心裡那點喜悅瞬間壓了下去。
芯盟的新封鎖行動，又來了。
