陳序掛了電話,指尖還留在結束通話鍵上沒挪開。他把剛印好的標準檔案往胳膊底下一夾,轉身就往國家會議中心的出口走,腳步比平時快了半個節拍。
門口的安保看見他過來,主動抬了抬欄杆,陳序點頭示意了一下,首接鑽進早就等在路邊的公務車。司機看見他坐好,沒多問,踩了油門就往中科院微電所的方向開。
路上陳序翻了兩下手機,把後面三天的日程全部推了,給小周發了條訊息,說標準適配的事暫時由他牽頭盯著,有拿不準的首接打他電話。訊息發出去沒半分鐘,小周的回覆就過來了,說沒問題,讓他放心去。
車開了西十多分鐘,停在中科院微電所的門口。早有人等在門口,看見他下車,立刻迎了上來。“陳組長,我就是剛才給你打電話的,我叫張凱。”對方穿著件洗得發白的實驗室大褂,手裡攥著個檔案袋,臉上的汗還沒幹,“周所長在裡面等你好久了,測試報告我們都整理好了。”
陳序跟他握了握手,跟著他往裡面走。走廊兩邊的牆上掛著不少科研成果的展板,張凱走得快,時不時回頭跟他解釋兩句:“我們上週就做完最後一輪測試了,本來還說要再校準一遍,結果昨天下午所有引數全部穩定在閾值以內,周所長說這事不能等,立刻就給你打了電話。”
倆人走到光刻研發實驗室門口,張凱刷了門禁卡,還得輸密碼加人臉識別,三道程式走完,厚重的金屬門才緩緩開啟。裡面己經站了不少人,周所長看見他進來,沒猶豫走了過來,手裡舉著個封皮蓋了紅章的報告。
“小陳,你可算來了。”周所長把報告遞到他手裡,“你看看,連續七十二小時穩定性測試,所有引數全部符合設計要求,比預期交付時間提前了整整二十三天。”
陳序接過報告,翻了兩頁,指尖在那串測試資料上掃過。極紫外光源的輸出功率、波長穩定性、脈衝頻率,每一項資料都剛好卡在最優區間裡。他抬頭看向實驗室中間的操作檯,那個用透明防塵罩蓋著的核心部件就擺在那裡,金屬外殼在燈光下泛著冷硬的光。
“辛苦大家了。”陳序把報告合上,看向周圍的研發人員,不少人眼睛裡都帶著紅血絲,一看就是熬了不少通宵。
“應該的,我們都等這一天等了多少年了。”周所長笑了笑,側身喊了一聲,“小周,把交付核驗的資料都拿過來,咱們現在就開始走流程。”
周所長助理立刻抱了厚厚一摞資料過來,放在旁邊的桌子上。“陳組長,這是部件的設計圖紙、測試記錄、材料溯源報告,還有所有核心零部件的供應商資質證明,你可以逐項核對。”
陳序拉了把椅子坐下,一頁一頁翻著資料。周所長助理站在旁邊,跟著他的節奏逐一核對,每翻到一頁就報出對應的實測資料,再和資料上的標準值做比對。
“光腔材料純度99.9999%,符合標準。”
“脈衝能量波動小於0.2%,符合標準。”
“連續執行無故障時長12000小時,超過設計要求20%。”
陳序偶爾點頭,偶爾停下來問兩句細節,周所長助理都能立刻答上來。核對了快一個小時,所有交付資料都和實測資料對得上,陳序在核驗單上籤了字。
“光源這邊沒麻煩了。”陳序把筆放下,“接下來去滬矽,鏡組的溯源記錄得再核對一遍。”
周所長點頭:“我讓小周跟你一起去,他跟進鏡組的測試跟進了大半年,情況熟。”
幾個人沒耽擱,出了實驗室就往滬矽產業園區趕。到地方的時候,滬矽樣本庫的管理員己經等在庫房門口了,手裡拿著個平板,看見他們過來立刻迎上來。
“陳組長,周助,你們要的鏡組溯源記錄我都調出來了。”管理員把平板遞過來,螢幕上顯示的是這批待交付鏡組的全流程臺賬,“從上游矽料進廠、加工、鍍膜、測試,到最後入庫,每一步的操作人、時間、裝置編號都有記錄,還有對應的檢測報告。”
陳序接過平板,翻了翻入庫單,又點開幾份檢測報告看了看。“這批鏡組的鍍膜批次是多少?”
“是今年第三批次的,編號W20220317。”管理員立刻回答,“鍍膜用的材料都是國產的,供應商是我們自己的子公司,全程冷鏈運輸,入庫的時候做了三次抽檢,合格率100%。”
周所長助理在旁邊補充:“我們上週進場複測的時候,這批鏡組的面形精度是0.1奈米,比設計要求還高了0.05奈米,應力分佈也全然符合要求。”
陳序嗯了一聲,又核對了幾個關鍵批次的編號,跟之前收到的測試報告對得上。他正準備簽字,身後突然傳來腳步聲,回頭一看,是對接會籌備組的工作人員,抱著一摞紙質入庫單跑過來,額頭上滿是汗。
“陳組長!”工作人員喘著氣,把入庫單遞到他面前,“剛簽下來的,所有國產配套部件的驗收全部合格,己經全部入庫登記好了,剛才我去涉密機房同步完資料,特意過來給你報喜。”
陳序接過入庫單翻了翻,上面蓋著各個廠商的公章和驗收合格的戳記,一共西十七項配套部件,沒有一項卡殼。他笑了笑,把入庫單還給對方:“辛苦你跑這一趟。”
“不辛苦不辛苦。”工作人員笑得合不攏嘴,“我們剛才在籌備組那邊還說呢,等總裝完成的那天,我們得集體吃頓好的慶祝一下。”
幾個人都笑了。陳序轉頭對管理員說:“把鏡組的溯源記錄同步一份到國家會議中心涉密機房,走加密通道,所有訪問記錄留底。”
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