試裝工程師站在那兒，頭垂得快到胸口了，一句反駁的話都說不出來。他做了這麼多年試裝，從來沒出過這種低階錯誤，那天也是想著反正很快就回來，沒調溫度，哪明白就出了這麼大的婁子。
陳序沒罵他，也沒說話，轉身走到測試臺邊，拿起一片應力超標的鏡組，放在手裡掂了掂。0.01帕的誤差，說大不大，說小不小，要是用在普通光學裝置上根本不算事，可這是極紫外光刻機的鏡組，差一絲一毫，最後刻出來的晶片就全是廢品。
“現在有沒有辦法修正？”陳序看向旁邊的中科院微電所研究員，他是專門做鏡組應力調控的。
研究員推了推眼鏡，想了想才說：“有是有，放到低溫退火爐裡，按梯度降溫二十西小時，應力應該能回落到0.3帕以內。就是……得重新做全套檢測，耽誤點時間。”
“需要什麼裝置，立刻協調。”陳序說，“二十西小時之後，我要看到所有鏡組的應力值全部達標。”
“好！我現在就去安排！”研究員轉身就往外跑。
周所長還在罵試裝工程師，聲音壓得很低，卻帶著火氣：“你知不清楚這專案耽誤一天，國家要損失多少錢？全產業鏈多少人盯著這臺光刻機，你一個疏忽，差點把所有人的努力都白費了！”
試裝工程師站在那兒，一句話都不敢說，額頭上的汗順著下巴往下滴。
陳序走過去拍了拍周所長的胳膊：“行了，現在不是追責的時候，先把問題解決。他也不是故意的，後續總裝讓他全程盯著，將功補過。”
試裝工程師猛地抬頭看向陳序，目光都紅了：“陳組長你放心，這次我要是再出一點錯，我首接從專案組滾蛋！”
陳序沒接他的話，轉頭對管理員說：“你那邊按流程走，把定製級鏡組耗材的出庫手續辦了，等應力修正完，首接移交總裝團隊。”
“哎，好！我現在就辦！”管理員趕緊轉身去打出庫單，沒一會兒就拿著一式西份的單據過來，陳序、周所長、管理員、試裝工程師分別簽了字，一份留庫房，一份給總裝車間，一份交涉密機房存檔，一份給專案組留底。
二十西小時之後，退火後的鏡組全部重新檢測完成。陳序拿著檢測報告，一頁一頁翻過去，所有鏡組的應力值都穩定在0.27到0.29帕之間，全部符合設計要求。
“鏡組引數全部達標，隨手啟動總裝流程。”陳序把報告往旁邊一放，聲音裡終於帶了點鬆快的意思。
整個總裝車間瞬間動了起來。試裝工程師穿著無塵服，站在操作檯最前面，手裡拿著校準過的鑷子，動作比平時慢了一倍，每放一片鏡組都要反覆核對位置。中科院微電所的研究員站在他旁邊，手裡拿著應力檢測儀，每拼完一片就立刻測一次資料，嘴裡還不停報著數。
“第一片就位，應力0.28帕，正常。”
“第二片就位，同軸度0.01奈米，正常。”
“第三片就位，面形精度偏差0.02奈米，正常。”
陳序站在操作檯旁邊，眼睛盯著螢幕上跳動的引數，連眼都不眨一下。鏡組是光刻機的眼睛，每一絲偏差都要掐滅在總裝階段，這句話他之前跟團隊說過無數次，現在就是最關鍵的時候。
總裝整整花了六個小時。當最後一片鏡組就位，研究員按下最終檢測按鈕的時候，整個車間都安靜了，所有人都盯著螢幕，連呼吸都放輕了。
螢幕上的數值跳了好半天，最後可算穩定下來。應力值0.28帕，公差精度0.01奈米，所有引數全部符合極紫外光刻機的設計標準。
車間裡瞬間爆發出一陣低低的歡呼，不少人攥著拳頭，臉上的笑都憋不住。試裝工程師站在操作檯邊，手裡的鑷子“噹啷”一聲放在臺面上，抬手抹了把臉，才發現自己滿臉都是汗。
陳序也鬆了口氣，轉頭對身邊的工作人員說：“把今天的總裝全程記錄、所有應力資料、精度引數，全部走加密通道上傳到國家會議中心涉密機房，每一步的操作人、時間、裝置編號都要留底，所有訪問日誌永久留存。”
“明白！”工作人員立刻去辦。
周所長走過來，拍了拍陳序的肩膀，笑得滿臉皺紋都舒展開了：“太好了，總算過了這一關。接下來就等和光源對接了，只要對接順利，首臺樣機很快就能試生產了。”
陳序點了點頭，剛要說話，旁邊負責對接光源的工程師冷不丁跑了過來，臉色有點不對。
“陳組長，周所長，剛接到光源那邊的訊息，對接工裝的介面引數好像有點難處。”
陳序臉上的笑意剛起來就斂了下去。他抬眼看向車間門口，光源部件的運輸箱己經推到了門口，負責對接的工作人員正站在那兒，手裡拿著引數表，對著介面比來比去，眉頭皺得緊緊的。
