陳序抬手按了按發酸的太陽穴，對講機還攥在手裡，電流雜音刺得耳朵發疼。走廊裡應急燈的綠光晃得人眼暈，遠處的呼喊聲斷斷續續飄過來，混著有人磕到桌椅的悶響。他回頭掃了眼實驗室裡還沒走的人，沉聲補了句：“所有人待在原地不要亂走，涉密資料都收好，等供電恢復了再核對一遍。”
眾人齊聲應了，各自找地方站著，沒人敢亂動。陳序靠在門框上，指尖無意識地敲著對講機外殼，腦子裡飛快過著最近的異常：談判資料被翻、伺服器內部賬號登入、現在又是斷電，對方明顯是衝著剛定稿的5nm設計來的，就是不曉得接下來還要出什麼么蛾子。
大概過了七八分鐘，對講機冷不丁響了，是老周的聲音，喘得厲害：“陳組長，我們到供電房了，門是鎖著的，沒被撬的痕跡。”
“鑰匙在安全組手裡，讓他們開門，進去之後先別碰任何東西，先拍照片留證。”陳序捏緊對講機，“供電房外圍也看看，有沒有什麼異常痕跡。”
“明白。”老周應了聲，那邊緊接著傳來鑰匙插鎖孔的聲音，還有人踩在水泥地上的腳步聲。
陳序等了兩分鐘，對講機又響了，老周的聲音壓得很低，帶著明顯的怒意：“陳組長，不對勁，主供電線路被人剪斷了，切口很齊，是用專業剪線鉗弄的。還有，外牆根那兒有個陌生的鞋印，沾了點泥，不是我們基地保安的鞋。”
陳序的臉徹底沉了下來。果然是人為破壞。“保護好現場，把鞋印拍下來發給安全組，跟之前伺服器登入的IP段對應一下，看看有沒有關聯。技術人員到了沒有？”
“剛到，正在看線路，說十五分鐘就能接上。”老周那邊傳來工具碰撞的叮噹聲，“我讓兩個人守在門口了，沒人能進去亂碰。”
“好，修好了第一時間通知我。”陳序掛了對講機，抬眼看向走廊盡頭的樓梯口，那裡黑乎乎的，連應急燈都照不到。內鬼能拿到供電房的鑰匙，說明許可權不低，之前排查了好幾輪都沒揪出來，看來是藏得真深。
他拿出手機翻了翻安全組之前發的異常訪問記錄，那個反覆出現的IP段，所屬的辦公區域明明只有三個核心成員有 access 許可權，其中兩個跟著專案做了快兩年，都是知根知底的，難道是第三個？
正想著，走廊裡的燈突然亮了，應急燈自動熄滅，遠處傳來一陣歡呼。緊接著對講機響了，老周的嗓音帶著點鬆快：“陳組長，線路接好了，供電恢復了。”
“清楚了。”陳序收起手機，回頭看向實驗室裡的人，“供電恢復，咱們馬上啟動光刻機做5nm曝光驗證。老周他們很快回來，你帶兩個人把設計稿再核對一遍，確保沒問題了跟我去光刻測試間。”
研發人員立刻動了起來，有人去拿保密檔案袋裡的5nm設計稿，有人開啟電腦核對電子檔引數，剛才還緊繃的氣氛瞬間活泛了點。陳序走到操作檯前，掃了眼螢幕上還亮著的5nm晶片三維模型，指尖輕輕敲了敲檯面。這一步要是成了，西陸的封鎖就等於廢了一半，對方肯定會狗急跳牆，接下來的路只會更難走。
沒兩分鐘，老周帶著人回來了，褲腿上沾了點灰，臉上還帶著怒氣：“媽的，查出來了，供電房的備用鑰匙上週就丟了，安保組登記本上還寫著在庫，明顯是內鬼偷的。鞋印也比對過了，跟上個月偷偷進資料室的那個痕跡完全吻合，就是同一個人。”
“先不急著查人，”陳序接過老周遞過來的鞋印照片，掃了一眼就塞進兜裡，“先把5nm的驗證做了，這個才是現在最要緊的。內鬼跑不了，等這邊忙完了再一點點算總賬。”
老周愣了愣，隨即反應過來，點頭應道：“對，正事要緊。設計稿核對完了？咱們現在就過去？”
“嗯，走吧。”陳序拿起桌上的審批單，轉身往外走，老周和兩個抱著設計稿的研發人員跟在後面。
攻關基地實驗室的光刻測試間在走廊最裡面，需要刷三重門禁才能進去。陳序依次刷了門禁卡、輸了密碼，最後掃了虹膜，厚重的金屬門緩緩開啟，一股恆溫恆溼的冷空氣撲面而來。首臺國產EUV光刻機就擺在房間正中央，銀灰色的機身泛著冷光，旁邊的操作檯上擺滿了檢測儀器。
操作組的人早就等在裡面了，見陳序進來，沒猶豫上前彙報：“陳組長，光刻機己經預熱完成，各項引數都正常，晶圓也準備妥當了，隨時可以著手。”
陳序點點頭，接過研發人員遞過來的5nm設計稿，親手交到操作組組長手裡：“這是最終版的設計引數，匯入的時候仔細核對，不要出任何差錯。”
“放心吧陳組長，我們核對三遍了。”操作組組長雙手接過設計稿，轉身走到操作檯邊，把引數匯入光刻機控制系統，螢幕上立刻跳出來一串串綠色的數字，所有引數全部匹配。
“準備匯入晶圓，啟動曝光程式。”操作組組長按下回車鍵，光刻機的機艙門緩緩開啟，機械臂穩穩地夾著一片12英寸的晶圓，精準地送進了機艙內部。
所有人都屏住了呼吸，眼睛死死盯著螢幕上的進度條。光刻機執行的嗡鳴聲很低，卻像敲在每個人心上，一下又一下。陳序立在操作檯邊，指尖微微扣著檯面，目光落在機艙的觀測窗上，裡面淡紫色的極紫外光亮了起來，照得整個機艙都泛著奇異的光。
時間一分一秒過去，進度條一點點往前挪，90%、95%、99%……
“曝光完成！”操作組組長冷不丁喊了一聲，螢幕上跳出來“曝光成功”的綠色提示框，機艙門緩緩開啟，機械臂夾著曝光後的晶圓送了出來，表面平整得看不出任何痕跡。
測試間裡瞬間爆發出一陣壓抑的歡呼，幾個年輕的技術員激動得互相撞了撞肩膀，老周攥著拳頭晃了晃，眼角都有點紅。這麼多年被卡脖子，好不容易走到這一步，沒人不激動。
陳序的嘴角也微微挑了一下，隨即又壓了下去，抬手壓了壓，示意大家安靜：“先別急著慶祝，把曝光後的晶圓送去檢測室做全項精度核驗，等引數全部達標了再高興也不遲。”
“明白，我親自送過去。”老周立刻上前，小心翼翼地接過裝著晶圓的防靜電盒，轉身就要往外走。
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