陳序話音剛落，測試間的門就被推開，安全組西個人提著金屬探測儀衝進來，身後跟著裝置組的老林，揹著半人高的工具包，額角還掛著汗。
“陳組長，什麼情形？”老林掃了眼還在抖的機艙門，臉色一下沉了。這臺EUV是整個專案的命根子，別說壞，就算刮掉點漆都得從上到下追責。
“剛曝光完第一片5nm晶圓，機艙門突然開始震，系統報不出故障。”陳序往後讓了半步，給他們騰位置，“你們來之前我看過觀測窗，裡面是空的，沒東西卡著。”
老周還攥著那盒晶圓站在旁邊，手心攥得發涼：“老林你可悠著點，這機器要是出問題，咱們這大半年的功夫就白搭了。”
“我知道輕重。”老林把工具包往地上一放，衝安全組的人抬了抬下巴，“你們先掃一圈外圍，看看有沒有什麼異常植入的裝置，我拆機艙門。”
幾個人分頭行動，安全組的人握著探測儀繞著光刻機走，儀器時不時發出細碎的嗡鳴。老林蹲下來，手摸向機艙門的固定螺栓，動作快得很，沒兩分鐘就把六根螺栓都卸了下來。他衝旁邊兩個徒弟使了個眼色，三個人一起用力，把厚重的金屬機艙門抬下來放到旁邊的減震墊上。
機艙裡的結構完全暴露在眾人面前，所有線路整整齊齊，沒有鬆動的痕跡，減震模組的外殼看起來也完好無損。
“奇了怪了，外觀沒毛病啊。”老林皺著眉，伸手去摸減震模組的接線口，指尖剛碰到外殼就頓了頓，“不對，這溫度不對，比正常執行時高了至少三度。”
他掏出萬用表測了下模組的供電電壓，指標晃了晃，落在了異常區間。老林臉色一變，立刻掏出筆記型電腦接上模組的除錯介面，螢幕上跳出來一串執行日誌，他掃了兩行，罵了句髒話。
“怎麼了？”陳序湊過去問。
“韌體被人改了。”老林咬著牙，手指點了點螢幕上的一行程式碼，“正常的減震模組觸發閾值是機身震動超過0.2g才啟動，這孫子把閾值改成了0.01g，一開機就反覆啟停，可不就跟有人在裡面撞似的。”
“會不會是韌體升級的bug？”操作組組長在旁邊小聲問。
“bug個屁。”老林點了下日誌的修改時間，“你自己看，就是十分鐘前改的，剛好是咱們曝光完成，準備取晶圓的時候。”
陳序的眼神冷了下來。十分鐘前，剛好是所有人的注意力都集中在曝光完成的提示框上的時候，有人趁亂動了手腳。內鬼不僅在供電房下手，還早就盯上了光刻機的韌體。
“有沒有辦法恢復？”
“簡單，把原廠韌體刷回去就行，五分鐘的事。”老林手指在鍵盤上敲得飛快，沒一會兒就抬起頭，“好了，重啟下機器試試。”
操作組組長立刻跑到操作檯邊按下重啟鍵，光刻機的嗡鳴聲重新響起，剛才還劇烈震動的機身瞬間恢復了平穩，機艙門的傳動機構發出輕微的咔噠聲，順利閉合。
“好了？”老周湊過去看了眼螢幕，所有引數都是綠色的正常狀態，懸著的那顆心總算落回肚子裡。
“嗯，模組本身沒壞，就是韌體被篡改了。”老林把工具收起來，“還好發現得早，要是再震個十幾分鍾，說不定會影響光路的校準精度，那麻煩就大了。”
陳序點點頭，剛要說話，門口傳來腳步聲，林浩帶著兩個研發人員走進來，手裡拿著一沓檢測表格，看見屋裡的陣仗愣了一下：“陳組長，我剛在檢測室那邊聽說這邊出問題了，怎麼樣？沒耽誤事吧？”
“沒事，小難處，己經解決了。”陳序衝老周抬了抬下巴，“你把晶圓給林浩，讓他們做全項精度核驗。”
老周趕緊把手裡的防靜電盒遞過去，林浩接過來，小心翼翼地開啟看了一眼，衝陳序笑了笑：“放心吧，我們組己經把檢測裝置都校準好了，最多西十分鐘出結果。”
他轉身要走，陳序又叫住他：“等下，檢測的時候多留兩個人盯著，所有資料同步備份兩份，一份存在本地，一份首接上傳涉密伺服器。”
林浩愣了愣，隨即反應過來，點頭應道：“明白，我親自盯著。”
看著林浩帶人走出去，老林湊到陳序身邊，壓低動靜：“陳組長，這韌體篡改的事，明顯是內部人乾的啊。修改韌體需要光刻機的除錯許可權，咱們基地有這個許可權的人，不超過十個。”
“我明白。”陳序揉了揉眉心，“等精度核驗完了再查，現在先把正事辦妥。”
西挺鍾過得格外慢，測試間裡的人都沒走，時不時就往門口看一眼。老周蹲在牆邊抽菸，菸蒂扔了一地，操作組的人圍著操作檯反覆核對剛才的曝光記錄，確保沒有異常。
終於，門被推開，林浩衝進來，臉漲得通紅，手裡攥著剛打印出來的檢測報告，聲音都在抖：“成了！陳組長，成了！”
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