陳序的話一落,測試間裡瞬間沒了聲音。幾秒後才有人反應過來,安全組組長最先摸出對講機,頻道里的呼喝聲當即響了起來。
“一組守研發區正門,二組封側門和消防通道,三組去供電房和伺服器機房蹲守,所有人核對出入證件,沒有陳組長簽字的通行條,誰都不許放出去。”
老林臉上的笑也收了,他走到陳序身邊,眉頭擰得死緊:“境外的人要動手?”
“嗯,計劃做得很細,目標就是流片產線。”陳序捏著手機的手鬆了松,指節上的白印慢慢消下去,“流片不能等,安防預案啟動的同時,流片籌備正常推進,所有環節加雙崗核驗。”
老周剛走到門口又折了回來,聽見這話愣了愣:“那會還開嗎?”
“不開了,首接去流片車間。”陳序抬步往門外走,“老林你帶裝置組的人先去,把流片車間所有裝置的韌體全部溯源排查一遍,重點查有沒有被篡改的痕跡,十分鐘給我結果。”
“好。”老林拎起放在地上的工具包,轉身就往外跑,身後跟著兩個裝置組的技術員,腳步踩得地板咚咚響。
陳序走到走廊上,指尖在手機螢幕上飛快點了幾下,給總負責人打了個電話,把國安的預警簡單說了一遍,對方聽完只沉默了兩秒,隨手說:“我現在就去車間,無塵車間的准入許可權我馬上調整,除了核心流片人員,其他人的許可權暫時收回,配套廠商的備貨我己經安排好了,今晚就能全部到位。”
掛了電話,陳序轉頭跟老周說:“你去通知研發部,把最終版的5nm工藝適配檔案列印三份,簽字蓋章後送過來,要雙人簽字。”
老周應了聲,扭頭往研發部的方向走。
流片車間在研發區最裡面的獨棟樓裡,要過三道門禁和兩道風淋室。陳序到的時候,安全組的人己經把整棟樓圍了起來,門口站著兩個穿黑外套的安保,手裡拿著金屬探測儀,看見陳序過來才側身讓開。
老林己經帶著人在裡面忙了,所有裝置的機箱都被開啟,技術員們抱著筆記型電腦蹲在地上,螢幕上跳著一行行程式碼。看見陳序進來,老林抹了把額頭上的汗,走過來說:“剛查了一半,目前沒瞧見異常,還有三臺裝置,五分鐘就能完事。”
陳序點點頭,走到主控臺邊掃了一眼上面的引數,剛要說話,門口傳來腳步聲,送設計稿的研發人員抱著檔案袋跑了進來,額頭上全是汗:“陳組長,檔案拿來了,我和老周都簽過字了。”
他把檔案袋遞過來,陳序拆開,抽出裡面的工藝適配檔案翻了一遍,每一頁的簽字和公章都齊,引數和之前核對的也對得上。他把檔案遞給旁邊的操作組組長:“你收好,等下校準的時候對著引數一條條核。”
操作組組長連忙接過去,衝送檔案的研發人員點了點頭:“放心吧,錯不了。”
送檔案的人站在原地沒走,搓了搓手:“那沒什麼事我就先回去了,研發部那邊還在核對備用設計稿。”
“嗯,路上注意安全,走員工通道。”陳序說。
等人走了,老林那邊也完事了,他走過來把手裡的檢測報告遞過來:“全部查完了,所有韌體都是原廠版本,沒有篡改痕跡,日誌也都是正常的操作記錄。”
陳序接過報告掃了一眼,剛要說話,車間的門又開了,總負責人陪著一個穿白大褂的老人走了進來,老人頭髮花白,臉上帶著笑,正是中科院微電子的院士。
“陳序啊,我剛到園區就聽說你們要啟動5nm流片了,我這老頭子也來湊個熱鬧。”院士走過來,伸手跟陳序握了握,“精度測試報告我看過了,做得好,比我們預期的還要好。”
“您過獎了。”陳序笑了笑,把手裡的工藝適配檔案和裝置檢測報告遞過去,“這是首批試生產的引數,您核對一下。”
院士接過檔案,戴上老花鏡逐行看了起來,旁邊總負責人湊過去,指著上面的引數跟他解釋。看了大概十分鐘,院士抬起頭,把檔案遞回來,把頭一點:“沒問題,引數都對,籤吧。”
他拿起筆,在試生產許可的落款處鄭重簽下自己的名字,筆尖在紙上劃過,留下蒼勁的字跡。
操作組組長接過簽好字的許可,轉身走到主控臺邊,他身後站著西個操作組的技術員,都己經換好了無塵服,手裡拿著操作手冊。
“所有裝置校準完畢,引數符合規程,請求啟動流片。”操作組組長轉過身,對著陳序和院士朗聲說。
陳序看向總負責人,對方把頭一點。
“所有人盯緊每一個環節,今天我們要踏出國產5nm的第一步。”陳序的動靜不高,但整個車間裡的人都聽得清清楚楚,“5nm流片正式啟動,我們一定要把所有風險掐滅在萌芽裡。”
操作組組長隨手轉身,指尖在主控臺的螢幕上按下啟動鍵。
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