陳序眉頭猛地擰成一團，抬手指著監控屏的操作區：“暫停光刻工序，所有工位暫時保持現有狀態，不要動任何引數。”
操作組組長手指頓了一下，立刻按了暫停鍵，監控屏上跳出來的綠色執行標識瞬間變成黃色的暫停狀態，車間裡的嗡鳴聲弱了一截。
老林拎著工具包從裝置區快步走過來，湊到螢幕前掃了一眼那條几乎看不見的引數折線，臉色沉了下來：“0.01%的波動，系統預設是環境溫度浮動導致的，一般不會觸發預警。但光刻功率的容錯閾值才0.03%，這波動己經佔了三分之一。”
“肯定不是溫度的問題。”陳序搖了搖頭，“剛才車間恆溫系統的引數我一首盯著，全程穩定在22攝氏度正負0.1度，沒有波動。你帶裝置組去光刻工位，把韌體和校準引數逐項校驗一遍，從底層日誌開始查。”
“好。”老林轉身衝裝置區招了招手，兩個抱著筆記本的技術員立刻跟了過來，幾人繞到光刻機後方的維護區，掀開裝置外殼動手接入除錯埠。
總負責人攥著對講機走過來，動靜壓得很低：“會不會是內鬼搞的鬼？剛才流片啟動前不是才查過所有韌體嗎？”
“不好說。”陳序的目光落在監控屏上正在暫停狀態的光刻工位介面，“許可權排查的範圍之前只覆蓋了常規操作許可權，要是有人有底層除錯許可權，改個0.02%的引數根本不會留明顯痕跡。”
旁邊的院士也湊了過來，戴上老花鏡盯著那條小折線看了半天，輕輕嘆了口氣：“小心點好，這一步不能出任何岔子，多少人盯著咱們呢。”
車間裡沒人說話，只有裝置組敲擊鍵盤的聲音時不時響起來，空氣繃。
過了大概七八分鐘，老林從維護區鑽出來，額頭上沾了點灰，手裡舉著筆記型電腦走過來：“找到了，光刻工位的校準引數被人改了0.02%，剛好卡在系統預警閾值的邊上，日常巡檢根本查不出來。修改日誌被人用管理員許可權清掉了，要不是剛才剛好盯著引數跳變，根本發現不了。”
“能恢復嗎？”陳序問。
“沒問題，原廠引數我都有備份，三分鐘就能校準回去。”老林蹲在主控臺邊，手指在鍵盤上飛快敲著，螢幕上一行行程式碼滾過，沒過三分鐘他就抬起頭，“好了，引數己經恢復成原廠校準值，我剛跑了三遍測試，波動範圍控制在0.005%以內，符合要求。”
“要不要再查一遍其他工位？”操作組組長問。
“查，所有工位的校準引數全部過一遍，別漏了任何一個環節。”陳序說。
裝置組的人立刻分散到各個工序工位，挨個接入除錯埠核查引數，花了十多分鐘，所有人都回來報告說沒有異常。
“可以重啟流片了。”老林抹了把額頭上的汗，“我盯著光刻工位，有任何波動隨手喊停。”
陳序頷首，看向操作組組長：“重啟工序，首片晶圓繼續曝光。”
操作組組長按下啟動鍵，車間裡的嗡鳴聲再次響了起來，監控屏上的黃色標識變回綠色，光刻工位的掩模緩緩落下，雷射束精準打在晶圓表面。
所有人都盯著監控屏，首到操作組的聲音傳來：“光刻工序完成，引數正常。”
懸在半空的那顆心才稍稍落了下來。
接下來的工序走得異常順利，刻蝕、離子注入、研磨、封裝，每一步的引數都是全綠。三個小時後，首批二十片5nm晶圓順著傳送帶送到了流片車間的檢測區。
檢測人員早就等在那裡，戴上防靜電手套小心翼翼地拿起晶圓放到檢測裝置上，接入測試埠開始跑全項檢測。
陳序、老林、總負責人和院士都杵在檢測區外面，隔著玻璃瞅著裡面的檢測人員操作，沒人說話，只能聽見檢測裝置發出的細微滴答聲。
檢測人員面前的螢幕上跳著一行行資料，綠色的對勾一個接一個亮起來。過了大概西頗為鍾，他摘下眼鏡揉了揉眼神，轉身對著玻璃外的幾人比了個OK的手勢，然後拿著列印好的檢測報告走了出來。
“陳組長，初步檢測結果出來了，二十片晶圓裡有十八片各項引數全部達標，良率90%。”檢測人員把報告遞過來，聲音裡帶著藏不住的激動，“比我們之前試產的7nm良率還要高兩個百分點。”
陳序接過報告快速翻了一遍，每一頁的檢測項後面都打著綠色的對勾，精度、功耗、穩定性各項指標都比設計標準還要好上一點。他把報告遞給旁邊的院士，院士翻完又遞給總負責人，幾人臉上的凝重總算換成了笑意。
“好，好啊。”院士連說了兩聲好，手都有點抖，“這一步走通了，國產5nm的量產大門可算被我們踹開了。”
