老林站在旁邊撓了撓頭，嘿嘿笑了兩聲，剛才皺得死緊的眉頭徹底舒展開了。
“先別忙著高興，還有一輪全項檢測呢。”陳序笑了笑，轉頭對操作組組長說，“把這批晶圓送到中芯的檢測室，做全流程可靠性測試，出正式的驗證報告。”
“好。”操作組組長立刻安排人把晶圓裝箱，用涉密轉運車送往檢測室。
接下來的六個小時，流片車間裡的產線全速運轉，一批接一批的晶圓送進去，封裝好的晶片源源不斷送到檢測區。檢測人員每半小時報一次良率資料，始終穩定在88%到92%之間，沒有出現大的波動。
等中芯檢測員拿著正式的驗證報告回來的時候，天己經快亮了。
“陳組長，全項檢測通過了。”中芯檢測員把蓋了章的報告遞過來，臉上滿是紅血絲，眼裡卻亮得很，“良率穩定在90%，所有可靠性測試全部達標，完全符合量產標準。”
陳序接過報告，封面上“5nm晶片量產驗證報告”幾個字格外醒目，最後一頁的結論處清清楚楚寫著“具備量產條件”，旁邊蓋著中芯國際檢測中心的紅色公章。
旁邊的中芯操作員拿著良率報表核對了三遍，拿起對講系統湊到嘴邊，嗓音洪亮：“管控中心，管控中心，國產5nm首輪流片良率達標，具備量產條件，重複一遍，具備量產條件。”
對講系統那邊沉默了兩秒，隨即爆發出一陣歡呼聲，連這邊的車間裡都能隱約聽見。
跟著來的第三方檢測機構的技術員也提交了抽檢報告，他翻了翻手裡的記錄本，對著陳序點了點頭：“我們抽檢了三個批次共六十片晶圓，良率89.7%，各項引數符合量產要求，這是量產可行性報告。”
幾份報告摞在一起，沉甸甸的。
陳序把報告整理好，交給旁邊站著的送設計稿的研發人員：“你把這些報告送到專案組辦公室，交給總負責人存檔，然後回工位把今天的流片日誌整理好歸檔，要雙人簽字確認。”
“好的陳組長。”研發人員小心翼翼地接過報告，放進檔案袋裡抱在懷裡，轉身快步走出了流片車間。
車間裡的人終於鬆了口氣，有人開始小聲議論，臉上都是掩不住的笑意，熬了一整夜的疲憊好像都被這好訊息衝散了不少。
老林走到陳序身邊，遞過來一瓶礦泉水：“總算是成了，剛才查到引數被改的時候，我這心都提到嗓子眼了。”
陳序擰開瓶蓋喝了一口，目光落在角落裡擺放的那批己經封裝好的合格樣品上，眉頭卻又慢慢皺了起來：“先別放鬆，那個改引數的人還沒找到呢。能接觸到光刻工位底層除錯許可權的人不多，查一下最近一週所有登陸過裝置除錯介面的賬號，還有誰在流片啟動前單獨進過流片車間。”
老林臉上的笑也收了起來，點了點頭：“我明白，等下就跟安全組對接，把日誌全部調出來查，這人肯定還在咱們內部。”
陳序沒說話，走到存放樣品的防靜電櫃邊，剛要伸手去拿最上面的那片晶圓，視線忽然頓住了。
那片封裝完好的合格樣品表面，不曉得什麼時候出現了幾道幾乎看不見的細微暗傷，像是被什麼東西輕輕劃了一下，位置剛好在核心電路的區域邊緣。
他的手指懸在半空，臉色瞬間沉了下來。
旁邊的老林注意到他的異樣，湊過來順著他的目光看過去，也愣住了：“這怎麼回事？剛才檢測的時候還好好的啊。”
陳序拿起那片晶圓，對著燈光仔細看了看，暗傷很細，不仔細看根本察覺到不了，但剛好在關鍵區域，要是流到量產環節，說不定會出大問題。
他抬起頭，看向車間門口的方向，走廊裡的燈亮著，安安靜靜的，一個人影都沒有。
車間裡的歡呼聲還在繼續，沒人注意到這邊的異常。
陳序捏著那片晶圓，指節微微用力，涼硬的觸感從指尖傳過來，剛才的振奮一點點沉了下去。
內鬼還在。
並且剛才，就在所有人都盯著檢測報告歡呼的時候，有人動過這批樣品。
