陳序指尖在桌面敲了三下，抬眼掃過在場的人。“現在封園，所有出入口只進不出，安保人員全部到位，無關人員不許靠近流片車間和實驗室區域。”他把加密隨身碟遞給旁邊的技術人員，“流片試生產現在啟動，按剛才敲定的引數走，所有環節雙人核驗，必須趕在內鬼動手前完成流片下線。”
國安王哥應了一聲，掏出對講機開始調人。“一組守正門，二組守貨運通道，三組把所有樓梯間和消防通道都查一遍，所有人憑工牌和提前報備的名單進出，外來人員一律扣下查身份。”他頓了頓，轉頭看向陳序，“我帶幾個人去監控室調出入記錄，看看那第三個可疑人員什麼時候混進來的，現在躲在哪。”
陳序點頭，看著王哥帶著兩個國安的人快步走出實驗室。老周湊過來，臉上還帶著剛才抓人的慌張：“陳總，流片車間那邊我己經讓人清場了，現在就剩值班的幾個老技術員，都是跟著我幹了五六年的，絕對可靠。”
“讓中控室把流片全程的排程資料同步到這邊的終端，每很鍾做一次備份。”陳序拿起桌上的引數表翻了兩頁，“還有，把所有今天接觸過流片引數的人員名單列出來，挨個核對行程，從昨天到現在的所有出入記錄、通訊記錄全部調出來。”
老周趕緊掏出手機打電話安排，滬矽值班經理小跑著過來，手裡攥著個筆記本：“陳總，周總，產線那邊己經把退火引數調回去了，第一批襯底再過二十分鐘就能出爐，檢測合格的話首接送流片車間上料。”
“行，你盯著點，襯底出來第一時間送檢測室做全引數核驗，不合格的首接報廢，不許流入下一道工序。”陳序抬腕看了眼表，現在是上午十點半，按正常流程，首片晶片最快下午兩點就能下線。
安全組的人還在盯著螢幕抓劉凱的資料流，手指在鍵盤上敲得飛快。“陳總，劉凱那邊還在傳資料，內容是剛才我們調整後的退火引數，他應該還不知道我們己經發現他了。”
“讓他傳，假引數早就摻進去了，他傳出去的東西越全，芯盟那邊踩的坑越大。”陳序走到螢幕前掃了一眼，“把他的訪問路徑暫時留著，看看他還會不會聯絡園區裡那個內鬼。”
林默抱著個資料夾走過來，把一摞原料清單放到桌上：“陳總，這是這次試流片用的所有原料的溯源記錄，每一批矽片、光刻膠、特種氣體的批次號、檢測報告我都核對過了，全部符合要求，您籤個字我就歸檔。”
陳序快速掃了一遍，簽上名字。“歸檔的時候做好加密備份，紙質版鎖進保密櫃，電子版只存涉密伺服器，不許拷到其他裝置上。”
林默應了聲，抱著資料夾走了。老周打完電話回來，臉色有點不好看：“陳總，剛才查了下，今天進過流片車間區域的一共有十七個人，其中三個是上週剛入職的工藝員，我以前沒見過，人事那邊說都是走正常招聘流程進來的，背景查過沒問題。”
“把這三個人先叫到安保室問話，暫時別讓他們接觸核心區域。”陳序皺了皺眉，“芯盟的人要混進來，肯定不會用太顯眼的身份，剛入職的新人最方便下手。”
正說著，中控室的電話打了過來，老周接起來嗯了兩聲，掛了電話看向陳序：“中控室那邊說排程資料都沒問題，從引數匯入到現在的所有操作日誌都存好了，值班人員剛剛核對過，沒有異常篡改的痕跡，一會兒就能出流程合規證明。”
“行，讓他們盯緊點排程系統，有任何異常彈窗立刻上報。”陳序轉身看向技術人員，“模擬系統那邊再做最後一遍核驗，確保流片過程中不會出現引數漂移。”
技術人員點頭，坐回電腦前敲了幾個鍵，螢幕上跳出一道道驗證進度條。“陳總，最後一遍核驗沒問題，所有引數邊界都留了冗餘，就算有小幅度的環境波動也不會影響良率。”
陳序嗯了一聲，走到窗邊看向外面的園區。安保人員己經開始在各個路口巡查，門口的崗亭排了一小隊人，正在挨個核對工牌。陽光落在院子裡的香樟樹上，光斑晃得人眼暈，他卻一點都放鬆不下來。
劉凱在攻關基地動手，園區裡還藏著個內鬼，剛才抓的那兩個人只是小嘍囉，芯盟肯定還有後手。現在流片剛啟動，任何一點小問題都可能導致前功盡棄。
手機忽地響了，是王哥打來的。“陳序，我們在監控裡找到第三個可疑人員了，是上週入職的那個工藝員張磊，剛才他換了件安保的制服，往流片車間的方向去了，我己經讓人過去堵了。”
“知道了，你們小心點，別讓他碰著流片車間的裝置。”陳序掛了電話，轉頭對老周說，“第三個內鬼找到了，就是那個新來的工藝員張磊，現在往流片車間去了，你跟我過去看看。”
幾個人剛走到實驗室門口，就看見兩個國安的人押著個穿安保制服的男人走過來，男人的臉漲得通紅，不停地掙扎。“我就是去換個班！你們憑什麼抓我！”
王哥跟在後面，手裡拿著個工作證：“換班？安保的換班記錄里根本沒有你的名字，張磊是吧？你入職、時候填、工作經歷是假的，我們查過了，你之前待的那家公司根本就沒你這個人。”
張磊的臉一下子白了，閉緊嘴不說話。王哥搜了搜他的口袋，掏出個小小的隨身碟：“這是什麼？你揣著隨身碟去流片車間幹嘛？”
“我，我存點個人資料……”張磊的聲音開始發顫。
“個人資料？”王哥冷笑一聲，“等回去慢慢審，看你存的是什麼個人資料。”他揮了揮手，讓人把張磊押去安保室，轉頭看向陳序，“還好發現得早，他再有兩分鐘就到流片車間門口了。”
“辛苦了。”陳序鬆了半口氣，“你們先審著，有訊息隨時通知我，我去流片車間那邊盯著。”
幾個人走到流片車間門口，值班的安保核對了身份，開啟風淋室的門。進去穿好無塵服，車間裡的機器正在嗡嗡運轉，機械臂舉著晶圓在各個工位之間移動，穿無塵服的技術員在各個操作檯之間穿梭，手裡拿著記錄表不停記著引數。
滬矽值班經理看見他們進來，趕緊走過來：“陳總，周總，第一批襯底己經上料了，光刻工序正在走，按現在的進度，下午一點半左右就能下線。”
“有沒有什麼異常狀況？”陳序看向操作檯的螢幕，上面跳著各道工序的引數。
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